판매용 중고 NIKON NSR 207D #293591966

NIKON NSR 207D
ID: 293591966
KrF Scanner.
NIKON NSR 207D Wafer Stepper는 프로덕션 등급의 웨이퍼 스테퍼로, 웨퍼 제작에 안정적이고 고품질의 회로 패턴을 제공합니다. 장치 제작에서 가전 제품의 백엔드 생산에 이르기까지 다양합니다. NIKON NSR 207 D는 고급 리소그래피, 강한 조명 노출, 빠른 정렬 및 민감한 조정과 같은 고급 기능을 통합 한 ImTech/Ni-Plus 모델입니다. 장치 제작을 위해 NSR 207D는 독점적 인 "Lobster Eye" 렌즈 기술을 갖춘 ALT (Advanced Lithography Technology) 를 사용합니다. 이 기술은 노출 시간이 짧고 해상도가 높은 이미지를 가능하게하며, 반도체 구조에 1.2 ½ m 접촉 패턴에 이상적입니다. Wafer Stepper에는 고급 포지셔닝 및 측정 시스템도 제공됩니다. 이러한 시스템은 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 의 정렬 오류를 빠르고 정확하게 발견하여 생산 중 더 높은 수율을 보장할 수 있습니다. 또한 단일 논스톱 (non-stop) 정렬 과정에서 미세한 결함을 정확하게 감지하는 강력한 마크 감지 장비가 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 또한 강력한 빛 노출 시스템을 가지고 있으며, 이는 포토 esist의 부드럽고 균일 한 개발을 보장합니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 에 명령 집합을 실행하고 노출 영역을 전략적으로 매핑함으로써, 핫스팟 (Hot Spot) 이없고 집중된 광도 (Light Intensity) 가 변하지 않는 고품질 장치 패턴이 생성됩니다. 백엔드 운영의 경우 NSR 207 D에는 노출 스캐너도 있습니다. 이것은 노출을 정확하게 제어하기 위해 스캐닝 속도 (100mm/s) 와 빠르게 정렬됩니다. 또한 대상 패턴을 식별하는 대화식 항목 검색 기능이 있습니다. 이 기능은 노출 드리프트 및 정확한 노출 오류를 감지하여 일관된 생산 수율을 보장 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 박막 처리를 지원하며, 복잡한 패턴 생산을 위해 웨이퍼 경계를 부드럽게 넘을 수 있습니다. 요약하자면, NIKON NSR 207D Wafer Stepper는 고급 프로덕션 등급 웨이퍼 스테퍼로, 디바이스 제작에서 백엔드 생산에 이르기까지 다양한 기능을 제공합니다. 고급 석판화 기계, 강력한 조명 노출 도구, 빠른 정렬 시스템, 민감한 조정 및 얇은 필름 처리가 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 고품질 장치 패턴 (device pattern) 과 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 의 정확한 포지셔닝 및 일관된 생산 수익률을 얻을 수 있습니다.
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