판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9242188

NIKON NSR 2005 i9C는 반도체 장치의 수율을 높이고 제조 비용을 줄이기 위해 설계된 풀 필드, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 시스템은 NSR-2005i8C 의 후속 모델이며, 향상된 광/처리 구성 요소를 통해 향상된 성능과 효율성을 제공합니다. NIKON NSR2005I9C는 1:00 감마 코팅 렌즈 스테퍼로 작동하도록 설계되었으며, 이는 1:00 이외의 다른 렌즈와 비교하여 플레어 및 고스트 발생을 줄입니다. 이 때문에 스테퍼는 ultrasharp 이미징 품질의 1 피치 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기계는 향상된 WASL (Wafer Alignment Equipment) 을 갖추고 있어 처리량을 높이고 정밀한 정렬을 보장하며, 프로세스 재생성을 높이고, 로트 장애를 줄입니다. WASL 시스템은 웨이퍼 주변 (wafer periphery) 의 정렬 오류를 측정하여 전체 필드를 따라 초점 이동을 줄일 수 있습니다. 마찬가지로 i9C에는 웨이퍼 수준에서 4X (1 미크론 해상도) 와 10X (0.25 미크론 해상도) 사이에서 전환 할 수있는 정밀한 패턴 크기를 재현 할 수있는 가변 해상도 기능이 있습니다. 이렇게 하면 패턴 형상이 올바르게 유지되고 웨이퍼 크기 도달률이 증가합니다. NSR-2005I9C 는 통합된 동적 초점 장치 (dynamic focus unit) 를 갖추고 있는데, 이는 긴 필드 및 높은 확대 단계뿐만 아니라 초점 오버슈팅에 대한 초점 전환을 보완하여 높은 프로파일 정확도와 고음질 패턴 기능을 보장합니다. 또한 초점 위치가 각 글로벌 단계에서 적극적으로 모니터링 및 조정되기 때문에 동적 초점 (Dynamic focus) 은 열 및 마이크로 오븐 효과를 줄입니다. 또한 i9C는 기존의 건식 에치 저항과 1X BPD (Binarized Pixel Distribution) 로부터의 강력하고 유연한 압축을 통해 일반적으로 2µm 선폭 패턴을 제공하는 개선 된 조명기를 제공합니다. 개선 된 조명 도구는 또한 더 나은 패턴 대비를 제공하는 근거리 효과 감소를 보여줍니다. NIKON NSR 2005I9C는 또한 기계적, 환경적 안정성을 가지고 있어 예기치 않은 장애, 결함, 생산 수익률 손실을 줄일 수 있습니다. '프로세스 제어' 및 '분석' 소프트웨어 제품군은 i9C 기능을 최적으로 활용하는 동시에 운영자에게 실시간 정보를 제공합니다. 전반적으로 NIKON NSR-2005I9C는 고급 이미징 옵틱과 정교한 프로세스 제어로 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 제조에서 향상된 수율과 비용 효율성을 제공합니다.