판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #293605792

니콘 NSR 2005 i9C (NIKON NSR 2005 i9C) 는 사진 해설에 사용되는 웨이퍼 스테퍼로, 집적 회로를 제작하기 위해 마스크에서 기판으로 패턴을 전송하는 프로세스입니다. 이 장비에는 리소그래피 (lithography) 에 필요한 모든 구성 요소가 포함되어 있으며 고정밀, 다용도, 속도가 특징입니다. i9C는 고급 스테퍼 옵틱, 최소화 된 디플렉션 및 난시 수차, 우수한 패턴을 사용합니다. 이 시스템은 VBSS (Variable Beam Spot Size) 기능으로 설계되었으며, 이는 0.6 ~ 5 ½ m 직경의 다양한 빔스팟 크기를 가능하게 하며, 각 패턴에 가장 적합한 설정을 사용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 특허를받은 스캐닝 기술과 함께 NIKON NSR2005I9C에는 고유하고 다재다능한 CCS (Cassette Changer Systems) 가 장착되어 있습니다. CCS는 완전히 자동화되었으며, 자동 블레이드 전송 기능이 있는 9 베이 카세트 홀더와 2 개의 블레이드 랙으로 구성됩니다. 이 장치를 사용하면 다른 부품 유형을 빠르게 변경하고 조정할 수 있습니다. i9C로 생성 된 노출 된 패턴은 남은 왜곡이 낮고 질식이 낮습니다. 이 기계는 NIKON 독점 ADC (Automatic Distortion Correction) 를 사용하여 모든 노출시 왜곡을 감지하고 수정하여 오류를 줄이고 패턴 품질을 최대한으로 향상시킵니다. 또한 i9C 는 정확하고 반복 가능한 (repeatable) 결과를 제공하므로 사용자가 직접 구성 요소를 대량 제조할 수 있습니다. 이 도구는 정밀 정렬 모니터링 자산 (precision alignment monitoring asset) 을 사용하여 이동 프로세스 내내 단계의 위치와 기울기를 지속적으로 모니터링합니다. 이것은 훌륭한 부품 위치와 안정적인 샷을 보장합니다. NSR-2005I9C 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 다양한 기능을 자랑하여 집적 회로 제작을 위한 고수율, 고품질 패턴을 생산하는 데 적합합니다. 고급 옵틱, CCS, ADC 등 다양한 패턴을 손쉽게 전송할 수 있으며, 가장 정밀하고 반복 가능하며, 왜곡이 최소화됩니다.