판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9041776
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판매
ID: 9041776
Stepper, 6"
Basic version: MCS2
Main computer:
System: PDP11/73, VT-284
CRT Monitor
Hard disk: RZ26L-E
(1) Disk drive: 5.25"
Illumination type: Normal
Wafer stage: Ring type chuck, Ball screw type
Interferometer: HP Laser
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: Variable (15 mm, 17.5 mm)
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus: Single
Wafer loader: Type-1, OF Type
Flatzone: Front
In-Line exist (Right)
Cassette: Left/Right
Control rack position: Left
Reticle loader: 6" Reticle, Added library, 26 slots
PPD: Available
Barcode system: Available
Chamber type: ASAHI Chamber
No missing parts
Powered down
Deinstalled
1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A는 고성능 스테퍼로, 마이크로 일렉트로닉 및 디스플레이 장치 생산을위한 photolithography 애플리케이션에 적합합니다. 이 스테퍼는 다중 레이어 처리, 마스크 정렬, 이미징 등 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. NIKON NSR 2005I8A 는 다양한 기능을 제공하여 photolithography 프로세스의 성능과 생산성을 향상시킵니다. 시속 400, 82 (482) 웨이퍼의 최대 속도로 작동하며, 0.33 미크론까지 해상도와 4% (4%) 의 오버레이 정확도로 높은 정확도를 제공합니다. 스테퍼는 2 개의 정밀 정렬 목표와 독점적 인 이미지 데이터 세차 시스템 (image-data precession system) 을 갖춘 이중 초점 정렬 장비를 사용하여 정확도를 향상시킵니다. NSR-2005I8A 는 최대 수치 조리개가 0.55 이고 필드 직경이 4 백 5 십 6 밀리미터 (456) 인 광 유닛을 갖추고 있어 폭넓은 노출 높이와 처리 아키텍처를 제공합니다. 이 기계는 또한 순수한 레이저 사전 정렬 마스크를 위해 0.63 (0.63) 의 유효 수치 조리개를 갖춘 광학 catoptric 디자인을 제공합니다. 스테퍼에는 빠르고 효율적인 웨이퍼 장착 및 검사가 가능한 마이크로 미터 암이 포함되어 있습니다. 샘플의 부드럽고 빠른 스캐닝을 제공하는 액티브 스캐너 (Active Scanner) 메커니즘이 장착되어 있으며, 최대 샘플 크기 (직경 6.3 ") 를 처리할 수 있습니다. 스테퍼에는 깨끗함 매핑 루틴 (Clininess Mapping Routine) 이 내장되어 있으므로 샘플의 오염을 검사할 수 있습니다. 또한 NSR 2005 i8A 는 단일 단계 쓰기 모드 및 특허를 획득한 자동 마스크 간 정렬 툴과 같은 정교한 기능을 제공합니다. NIKON NSR-2005 I8A 는 다양한 화학 물질과 호환되며, 저항을 통해 다양한 옵션을 선택할 수 있습니다. 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하는 하이엔드 소프트웨어 자산으로 구동됩니다. 또한, 이 모델은 레시피 생성 (recipe creating) 을 위한 여러 옵션을 제공하며, 이를 통해 사용자는 해당 응용 프로그램에 최적화된 포토 리토그래피 레시피를 만들 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2005 I 8 A는 photolithography 응용 프로그램에 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 스테퍼입니다. 이 제품은 다양한 기능을 제공하며, 높은 정확도와 효율성을 제공하므로 다양한 사진 (photolithography) 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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