판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9041676

NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper는 반도체 웨이퍼에 매우 작고 복잡한 기능을 인쇄하는 데 사용되는 고급 고해상도 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 고수치 조리개 (NA) 투영 렌즈와 고해상도로 작동하여 미세한 이미지를 포토 esist 코팅 웨이퍼로 정확하게 전송합니다. 선명하고 선명한 HD 이미지로 1.2äm 정도의 작은 기능을 인쇄 할 수 있습니다. NIKON NSR 2005I8A에는 Illuminator, Exposing Lens, Stage 및 Sensor로 구성된 정교한 이미징 장치 설정이 있습니다. 조명기는 강력한 빛을 만들어 노출 렌즈 (Exposing Lens) 에 의해 제어되고 응축됩니다. 고도 의 "포지셔닝 '과 제어 된 기계적 움직임 을 지닌 진공" 척' 덕분 에 결과 "이미지 '가 무대 위 에 있는" 웨이퍼' 에 투영 된다. 이 단계는 또한 더 많은 노출 정확도를 위해 웨이퍼를 회전, 기울이고 이동할 수 있습니다. "센서 '는 기계 에 집적 되어 있으며" 웨이퍼' 의 노출 용량 을 모니터링 하고 최적화 하는 데 사용 된다. 정교한 알고리즘은 실시간으로 작동하며, 노출 조건을 조정하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 노출 문제를 감지하여 리소그래피 성능에 부정적인 영향을 줄 수 있습니다. 또한 NSR-2005I8A 는 다양한 소프트웨어 옵션으로, 노출 매개 변수 제어 및 디지털 이미지 처리를 자동화합니다. 이 도구는 견고하고 신뢰할 수 있도록 설계되었으며, 반복 (repeatable) 성능으로 최적화된 방식으로 작동할 수 있습니다. 이것은 DSP (Advanced Digital Signal Processor) 에셋과 패턴 데이터를 캡처 및 저장하는 데 사용되는 고해상도 CCD 카메라를 통해 달성됩니다. 마지막으로, NSR 2005I8A 에는 이온 밀링 기술 (ion milling technology) 을 사용하는 클리닝 모델 (cleaning model) 이 장착되어 있어 광학 장비가 오염 물질로부터 깨끗하게 유지되어 노출 과정의 정확성과 안정성을 방해 할 수 있습니다. 결론적으로 NIKON NSR 2005 I 8 A는 고밀도 리소그래피 결과를 제공하는 데 도움이되는 다양한 기능을 갖춘 고급적이고 정확한 웨이퍼 스테퍼 시스템입니다. "와퍼 '가 정확 한 상태 에 노출 되어 원하는" 패턴' 을 만든다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 하드웨어 (Hardware) 를 사용하면 노출 프로세스를 자동화, 최적화 및 모니터링할 수 있어 효율성을 극대화할 수 있습니다. NSR-2005 I8A 의 전반적인 설계를 통해 고성능 고해상도 이미지 (서브 미크론 수준) 를 일관되게 생성할 수 있습니다.