판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #293617129
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판매
ID: 293617129
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1992
Stepper, 8"
Laser Model: < 1mW He-Ne laser
(5) Reticles: 6” x 6”
Lamp power supply
(2) CCU NVC6B-U Black and white cameras
Computer
Monitor: Black and white
HBO Lamp: 2000 W
Stage:
Stage axis: X, Y, Z
Automated Stage
Vacuum
Short circuit interrupting capacity: 22 KA
Compressed air
Chemical: Freon-22
Suniso 3GS Refrigeration Oil
Non-contact cooling water
Motor / load: 12 A
Power supply: 208 V, 40 A, 50/60 Hz, 3 Phase
1992 vintage.
니콘 NSR 2005 i8A (NIKON NSR 2005 i8A) 는 웨이퍼 스테퍼로, 전자 업계에서 반도체 장치의 생산을 확장하는 데 사용되는 기계입니다. 그것 은 "레이저 다이오드 '로부터 혹은 중점" 이온 빔' (FIB) 으로부터 "에너지 '를 전달 하여 기판 에서 원하는" 패턴' 을 달성 함 으로써 작용 한다. NIKON NSR 2005I8A 는 반도체 대량 생산 프로세스의 비용 절감, 생산성 향상을 위해 설계되었습니다. NSR-2005I8A 에는 통합 조명이 장착되어 있어, 각 노출의 노출 시간이 단축됩니다. 이 짧은 노출은 전력 공급 변화 (power supply variations) 와 입자 및 오염 (contamination) 의 효과를 감소시켜 프로세스 안정성을 높입니다. 또한, 가속/감속 시간이 7ms (ms) 로 단축되었으며, 이는 생산 처리량을 극대화하고 노출 시간으로부터 잠재적 인 손상 또는 자원을 줄이기 위해 비최적 노출 시간을 최소화합니다. 뿐 만 아니라, 큰 인쇄장 을 마련 하여 더 큰 "다이 '를 생산 할 수 있으며, 해상도 가 높고 결함 이 적다. NSR 2005I8A 는 레이저 전력 안정성이 ± 0.1% 인 향상된 안정성을 제공하여, 개선되고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 한편, 스티치 본드 (stitch-bond) 불일치 제어는 스티칭 방향을 모니터링하여 미세한 패턴 스티칭에서 왜곡을 최소화함으로써 낮은 스티칭 왜곡을 달성합니다. 노출 제어 시스템은 표면 거칠기와 이미지 품질 제어를 더욱 가능하게합니다. 컴퓨터에는 불량 (F결함 없는) 제품 품질을 보장하기 위해 노출 후 (Exposure) 및 진단 (Diagnostics) 시 교정이 가능한 소프트웨어 기능이 추가로 장착되어 있습니다. NSR-2005 I8A 는 또한 자동 초점 정렬 (auto focus alignment) 및 고급 자동 초점 알고리즘 (advanced auto focus algorithm) 을 제공합니다. 세포 별 평가 기술은 대량 생산 수준에서 생산성 및 수율을 더욱 향상시킵니다. 또한 3차원 정렬 기능을 통해 임계 치수 오류를 수정할 수 있으며, 통합 범용 I/O 포트는 운영 데이터 통신, 프로세스 관리 등의 프로세스를 단순화합니다. 전반적으로, NSR 2005 i8A 는 강력한 웨이퍼 스테퍼로서, 반도체 디바이스의 대량 생산에서 일관성 있고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 첨단 기능 및 기술로 인한 신속한 노출 (Rapid Exposure), 최소한의 노출 시간, 안정성 향상, 고품질 제품 보장, 생산성 향상 등의 이점을 누릴 수 있습니다.
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