판매용 중고 NIKON NSR 2005 i11C #9309536

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

ID: 9309536
Stepper.
NIKON NSR 2005 i11C는 백엔드 반도체 처리, 미세 피치 다이 첨부 (fine-pitch die attachment), 박막 개발 등 다양한 애플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 중대형 생산에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 정밀 패턴화 (precision patterning), 안정적인 정렬 (stable alignment) 및 정확한 오버레이 (overlay) 를 위한 고급 기술이 통합되어 있습니다. NIKON NSR 2005 I 11 C의 고해상도 이미징 시스템은 고급 NIKON 특허 동종 역조명 5 "(127mm) 슬릿 이미징 렌즈와 고감도 디지털 CCD 센서를 사용하여 높은 이미징 정확도와 동적 범위를 제공합니다. 이 장치에는 다운 스트림 광학 (downstream optics) 과 구조물이 포함되어 있어 이미징 평면을 정확하게 제어할 수 있습니다. NSR 2005 i11C에는 2 축 정렬 측정 및 4 단계 테스트 구조의 간섭 광학 (Interferometric Optic) 을 사용하여 정확한 정렬 및 오버레이를 수행하는 자동 스테이지 포지셔닝 시스템이 장착되어 있습니다. 이 스테이지에는 고해상도 인코더 (encoder) 도 포함되어 있으며, 정확한 움직임을 위한 정확한 회전 제어를 제공하며, 연속 (continuous) 및 로컬 (local) 스캔 패턴을 모두 지원합니다. mask-to-wafer 등록 측면에서 NSR 2005 I 11 C는 동급 최고의 정렬 및 오버레이 측정과 함께 글로벌 및 로컬 등록 방법을 모두 통합합니다. 이 도구는 또한 기판 표면의 불완전성 (예: 뒤틀림, 불균일성) 을 인식 할 수 있으며, 동급 최고의 보상 및 보정을 제공합니다. NIKON NSR 2005 i11C는 다중 계층 TMCS (Total Maskless Control Asset) 알고리즘을 사용하여 매우 복잡한 다중 레벨 구조를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 모델은 고속 패턴 생성을 제공하며, 영역 범위는 기존 step-and-repeat 시스템보다 최대 10 배나 빠릅니다. 이 장비에는 고급 웨이퍼 모니터링 (Wafer Monitoring) 및 프로세스 제어 (Process Control) 기능이 장착되어 있어 반복 가능하고 재현 가능한 결과를 보장합니다. RFID 지원 데이터 로깅 및 추적 (traceability) 시스템을 사용하면 운영 사이트 간 안전한 데이터 전송과 태블릿 PC의 프로세스 추적이 가능합니다. NIKON NIKON NSR 2005 I 11 C는 강력하고 다재다능한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장치로, 광범위한 프로덕션 어플리케이션에 대해 매우 정밀한 패턴화와 뛰어난 오버레이 제어를 제공합니다. 고급 옵틱, 다중 계층 알고리즘, 자동 스테이지 포지셔닝 시스템, 강력한 프로세스 제어 기능을 갖춘 NSR 2005 i11C 는 대용량 생산을 위한 안정적인 플랫폼입니다.
아직 리뷰가 없습니다