판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9283324
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판매
ID: 9283324
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2012
Stepper, 4"
Main body
Controller rack
AC Unit
NA Variable system
Maximum NA: 0.57
Reticle size: 6"
(20) Reticle microscopes
Wafer chuck: 6"
Wafer chuck type: Ring
(6) Pre-alignment 2: Flat
(6) Pre-alignment 2 hammers
Wafer loader: Type 1
Chip leveling
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA
No in-line
No on-line
No in-line interface
No wafer alignment assist microscope
No wafer edge exposure
No signal tower
No power meter / Test reticles
No reticle cases
No remote controller
2012 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C는 반도체 장치 생산에 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 가변 스팟 크기 투영 노출 장비는 입증 된 72 채널 조명 시스템과 고속 크리스탈 쿼츠 굴절 렌즈 장치 (Crartz Refractive Lens Unit) 를 갖추고 있습니다. 뛰어난 이미징 및 오버레이 정확도를 달성 할 수 있으며, 단일 웨이퍼에서 6 인치 웨이퍼를 쉽게 처리 할 수 있습니다. NIKON NSR 2005I10C는 빠르고 정밀한 XY 모터 스테이지로 설계되었습니다. 이 모터 스테이지 (motor stage) 는 웨이퍼의 빠르고 정확한 위치를 지정하며 매우 정밀한 정렬 및 초소형 스캐닝 제어를 제공합니다. 기계의 광학은 굴절 석영 결정 렌즈 (refractive quartz crystal lens) 를 기반으로하며, 반음계 수차없이 높은 강도와 빠른 영상 속도를 허용합니다. NSR-2005I10C에는 균일 한 조명과 뛰어난 소음 면역성을 제공하는 72 채널 TTL 조명 도구가 장착되어 있습니다. 이 자산을 사용하면 다파장 조명 (luminating light) 이 있는 고급 광학을 사용하여 노출 과정을 미세 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 또한 고속 웨이퍼 인덱싱 메커니즘이 장착되어 있어 정확한 노출되지 않은 웨이퍼 (wafer) 전송이 가능합니다. 고속 웨이퍼 핸들러와 결합하여 대형 웨이퍼 (Wafer) 까지 빠르게 처리할 수 있으며, 수율도 높다. 이 장비는 고성능, 사용자 친화적인 CoolViewer (CoolViewer) 운영 소프트웨어로 자동화되어 있어 전체 작동 시간을 대폭 단축할 수 있습니다. 이 시스템은 자동/수동 정렬 모드, 자동 대상 포커싱 (정확도 1nm) 도 갖추고 있습니다. NIKON NSR-2005 I 10 C 웨이퍼 스테퍼는 높은 정확도, 작동 용이성 및 자동화로 웨이퍼 처리에 완벽한 선택입니다. 이 장치는 뛰어난 화질, 정밀도를 제공하여 까다로운 마이크로칩 (microchip) 생산 요구에 적합합니다.
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