판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9283319
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판매
ID: 9283319
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2010
Stepper, 6"
Main body
Controller rack
AC Unit
NA Variable system
Maximum NA: 0.57
Reticle size, 6"
(20) Reticle microscopes
Wafer chuck, 6"
Wafer chuck type: Ring
(6) Pre-alignment 2: Flat
(6) Pre-alignment 2 hammers
Wafer loader: Type 1
Chip leveling
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA
No in-line
No on-line
No in-line interface
No wafer alignment assist microscope
No wafer edge exposure
No signal tower
No power meter / Test reticles
No reticle cases
No remote controller
2010 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C 는 최소 비용으로 최고의 성능을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 다용도 장치는 가장 까다로운 프로세스에 가장 정확하게 Wafer (웨이퍼) 구성 솔루션을 제공할 수 있습니다. 전체 자동 작업 (Full Automatic Operation) 을 통해 광범위한 프로세스에 대한 일관된 결과를 보장합니다. NIKON NSR 2005I10C에는 높은 유연성과 정확성을 제공하는 2 단계 광학 시스템이 있습니다. 이 시스템은 가변 확대가있는 고해상도 웨이퍼 패턴 렌즈로 구동됩니다. 장치를 완벽하게 자동화하여 비스톱 (non-stop) 정렬을 가능하게 하여 반복 가능한 고정밀 (high-precision) 패턴화에 적합합니다. 또한 스테퍼에는 최대 10 미크론 해상도의 패턴을 만들 수있는 고해상도 레이저 소스 (laser source) 가 장착되어 있습니다. 또한, 노출 시간과 용량 범위를 자동으로 최적화하여 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. NSR-2005I10C 의 고속 스테핑 드라이브 (고속 스테핑 드라이브) 를 사용하면 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리할 수 있으며, 대형 스캐닝 (scanning) 필드를 통해 여러 웨이퍼 어셈블리를 수용할 수 있습니다. LCD (내장 LCD) 인터페이스를 사용하면 쉽고 직관적인 작업을 수행할 수 있으며, 이를 통해 장치의 상태를 모니터링하고 필요한 조정을 수행할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 통합 진공 척 (vacuum chuck) 이 있어 처리 단계 동안 웨이퍼가 안전하게 고정됩니다. NSR 2005I10C 는 믿을 수 없을 정도로 안정적이며, 최고의 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 청결 한 환경 을 공급 할 수 있는 것 으로, 대기 가 줄어들지 않고, 오염 이 적다. 또한, "렌즈 '의 낮은 수치 조리개 는 왜곡 과 수차 를 줄여 뛰어난 해상도 를 달성 할 수 있다. 이 기능의 조합을 통해 NSR-2005 I 10 C 는 다양한 wafer 처리 애플리케이션에 적합한 고가용성 wafer stepper 입니다.
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