판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #9309533

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ID: 9309533
Stepper.
NIKON NSR 1755 i7A 웨이퍼 스테퍼는 가장 고급 웨이퍼 기반 기판에서 집적 회로 (IC) 의 제작을 위해 설계된 업계 최고의 정밀 제어 장비입니다. 이 시스템은 3D 및 평면 프로세스 모두에 고급 리소그래피 기능을 제공합니다. 고해상도 노출 장치는 4nm (4 × 10-9m) 의 장거리 이미징 정확도를 가진 낮은 발산 LED 광원을 특징으로합니다. "나노미터 '크기 의 정확도 로 3" 나노미터 '/초 의 속도 로 움직 일 수 있는 극히 정밀 한 "웨이퍼 스테이지' 를 가지고 있어서 여러 가지 장치 와 회로 의 해상도 가 높다. NIKON NSR 1755I7A는 에어 베어링 스핀들을 사용하여 측면 등록 오류 및 배치 프로세스 시간을 최소화합니다. 웨이퍼 처리 기능에는 최대 8 인치 웨이퍼 기판을 카세트로 로드 및 언로드하거나 최대 70mm/sec 속도의 수동 척 (chuck) 이 포함됩니다. 레티클 처리 및 정렬 기능은 0.25 × 10-6m (0.25 × 10-6m) 의 이미징 정확도를 갖는 고급적이고 강력한 펠리클을 특징으로합니다. 또한 NSR-1755I7A에는 고급적이고 강력한 스테퍼 옵틱도 포함되어 있습니다. 광학 기계는 0.5의 높은 수치 조리개를 가진 최첨단 하이브리드 TFT-AMLCD 프로젝션 광학을 사용합니다. NSR 1755 i7A에는 수많은 환경 제어 메커니즘도 있습니다. 작동 환경의 온도를 ± 1 ° C 이내로 감지하고 제어 할 수 있습니다. 고온 기후 (-25 ° C ~ + 45 ° C) 에 내성이 있습니다. 또한, 먼지 및 입자 저항성이며, 먼지 입자를 0.3 m 아래로 제어 할 수 있습니다. 또한, 새로 설계된, 더 단단한 제조업체를 고정시켜 진동 수준을 최소화하고 프로세스 안정성을 향상시키는 방진 (anti-vbration) 디자인이 포함되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR-1755 I 7 A는 매우 정확하고 정밀하게 고해상도 집적 회로를 만들 수있는 안정적이고 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 노출 도구, 웨이퍼 처리 기능, 레티클 정렬 및 광학 자산, 환경 관리 측정 (Environmental Control measure) 을 통해 IC 제작을 위한 정교하면서도 신뢰할 수 있는 툴입니다. 탁월한 성능 표준은 통합 회로 제조 (integrated circuit manufacturing) 와 관련된 생산 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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