판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #293655188

ID: 293655188
Stepper.
NIKON NSR 1755 i7A는 서브 미크론 레벨 해상도로 반도체 웨이퍼에 제조 레이어를 패턴화 할 수있는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON iSeries 에서 가장 발전된 스텝퍼 중 하나로, 5 nm 이하 (5 nm 이하) 등의 고급 노드를 포함하여 까다로운 고급 노드 웨이퍼를 처리하는 데 적합합니다. NIKON NSR 1755I7A는 저진동, 냉음극 다이렉트 마킹 (CCDM) 기술로 제작되어 서브 미크론 레벨 패턴화에 필요한 이미징 안정성 및 패턴 정확성을 가능하게합니다. CCDM 이미징과 7 축 스테이지 유닛의 조합은 1.0 미크론 미만의 타의 추종을 불허하는 기판 대 기판 정렬 정확도를 제공합니다. 온보드 (on-board) 클로즈드 루프 (closed-loop) 모니터링 장비를 사용하여 웨이퍼 정렬을 지속적으로 추적 및 조정하여 처리 중 매우 높은 정확도를 유지할 수 있습니다. NSR-1755I7A의 시야는 25mm x 25mm이며 총 처리량은 시간당 250 개 이상입니다. 고성능 EOM (Electro-Optical Module) 과 통합되어 이미지 품질 및 처리량 향상을 위한 향상된 파장 시스템을 갖추고 있습니다. EOM에는 고급 옵티컬 유닛 (optical unit) 과 울트라 바이올렛 (Ultra-Violet) 및 ArF 레이저 스캔 기능이 있어 다양한 고급 노드의 웨이퍼에서 복잡한 패턴을 이미징할 수 있습니다. NIKON NSR-1755 I 7 A는 신뢰할 수 있는 견고한 설계로 설계되었으며, 인체 공학적 레이아웃을 통해 쉽게 작동/유지 관리할 수 있습니다. 또한 Class 1,000 클린 룸 환경 및 다중 파장 조명기를 포함한 고급 환경 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 최소한의 소음과 최소한의 입자 오염으로 고급 장치를 처리 할 수 있습니다. NSR 1755 i7A 는 고급 노드 웨이퍼 (advanced node wafer) 패턴화를 위한 완벽한 플랫폼을 제공하며, 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 5 nm 이하 (5 nm) 와 같은 고급 프로세스에서 복잡한 패턴을 패턴화하는 기능은 오늘날의 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 작업에 이상적인 도구입니다.
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