판매용 중고 NIKON NSR 1755 i7A #293655181
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ID: 293655181
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6"
(2) CVCF NEMA Boxes
Reticle, 5"
Wafer chuck, 6"
0.5 NA
Variable reticle microscope: 15, 17.5
Reticle barcode reader
Reticle case, 5"
Wafer type: Semi wafer
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment2 / Hammer, 6"
Wafer loader
Chip levelling
Carrier table: Left / Right
HP 5517A Laser
Right rack
ASAHI S78 Chamber
Chamber temperature: 23°C
NEST2 PC.
NIKON NSR 1755 i7A 는 다양한 애플리케이션의 웨이퍼 프로세스를 위해 설계된 최첨단 wafer 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 매우 정확한 단계, 스캔, 고속 작동을 통해 처리량 향상, 수율 증가, 비용 절감, 전반적인 생산성 향상 등을 약속합니다. 스테퍼에는 이중 축 장비가 있으며, 새로운 스캔 및 미러 시스템을 사용하여 정확도와 속도를 높입니다. 또한 업계 최고의 무빙 스테이지 (Moving Stage) 옵션을 통해 다른 모델보다 최대 20% 빠른 가속을 실현하는 동시에 비트-투-비트 (beat-to-beat) 정확도를 유지할 수 있습니다. 또한 고정밀 에지 정렬 기능과 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 언로딩을 통해 일관된 칩 에지 배치를 보장합니다. 또한 NIKON NSR 1755I7A는 이미지 기반 자동 작동 측정을 사용하여 웨이퍼를 준비하는 시간을 7 분 이내로 줄입니다. NSR-1755I7A 는 5.2 대각선 측정이 가능한 400nm 광학 시스템을 사용하여 photolithography 와 같은 프로세스의 최고 정확도와 오류 여백을 보장합니다. 사진 사진 촬영 장치 (photolithography unit) 는 저항 처리 제어 및 향상된 광학 해상도 수준을 가능하게하여 더 나은 용량 정확도와 필름 균일성을 제공합니다. 고급 옵티컬 디자인, 프로세스 제어 도구 모음, Fast CD (Fast-In Fast CD) 프로세싱을 활용하여 원하는 기능 크기 및 정확성을 제공합니다. 렌즈 시스템은 또한 NIKON Precision Optics를 사용하여 최고 수준의 이미지 품질과 수치 조리개 정확도를 제공합니다. 또한 NSR-1755 I 7 A는 200mm ~ 12인치 이상의 다양한 프로세스 크기를 위해 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 완전히 자동화되어 현장 예방 유지 보수 기능을 제공하므로 중단 없이 작업을 계속할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 최적의 노출 조건을 제공하는 센서 기반 시스템이 있습니다. 전체적으로, NSR 1755 i7A 는 매우 정확한 단계, 스캔, 고속 작동을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 다양한 Wafer 프로세스 애플리케이션에서 처리량, 생산량 증가, 비용 절감, 생산성 향상에 도움이 됩니다.
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