판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7E #293591982

NIKON NSR 1755 G7E
ID: 293591982
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1755 G7E는 고급 기술을 통합하여 고해상도 이미징 및 정밀한 정렬을 제공하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 내부 방사선 소스와 7 인치 이미지 확대 모듈 (FESEM) 이 장착되어 적용된 반도체 웨이퍼 뒷면의 초고해상도 이미징이 가능합니다. 이 장비는 열 드리프트가 매우 낮은 사진 (photolithography) 이미지에서 가장 높은 대비를 이룰 수 있습니다. NSR 1755 G7E 는 가장 작은 기능에도 고급 석판화 (lithography) 요구 사항을 완벽하게 충족하는 데 적합합니다. 스테퍼의 내부 방사선 소스 (internal radiation source) 는 가장 작은 해상도의 기능에 완벽한 양의 에너지를 갖는 고속 전자 빔 발전기 (high-speed electron beam generator) 입니다. 이 전자 공급원은 또한 열 드리프트-유도 오정 및 이미지의 변형을 보상 할 수있다. 또한 리소그래피 이미지의 월등한 대조와 밝기를 보장하고 잔여 웨이퍼 (residual wafer) 지형을 크게 줄입니다. 이 방사선 원천은 또한 충격에 강하므로 모든 생산 환경에서 작동 할 수 있습니다. NIKON NSR 1755 G7E의 7 인치 FESEM 이미징 모듈은 해상도가 384nm이며 이미지를 4 배 자화 (표준 현미경 해상도의 4 배) 위해 최대 1300X (정품 이미지 영역) 까지 확대 할 수 있습니다. 이 고해상도 이미징 모듈을 사용하면 사진 분석 마스크 및 웨이퍼를 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. NSR 1755 G7E (NSR 1755 G7E) 는 8 방향 스캔 스테이지로, 전체 속도 정렬을 가능하게 하며, 최소 이동과 정렬 시간으로 전체 웨이퍼 표면에 초점을 맞출 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 스테퍼는 이미지 오버레이 기능이 내장되어 있고, 쿼츠 마스크 패턴을 저장 및 리콜하기 위한 플래시 메모리를 사용합니다. 또한 이 시스템에는 제어 콘솔 (Control Console) 이 장착되어 있어 스캐닝 과정에서 사용자가 기능을 제어하고 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 사용자는 NIKON 서비스 진단 프로그램 (Service Diagnostics) 소프트웨어와의 호환성을 통해 모니터에서 직접 스테퍼 성능 데이터를 보고 네트워크에 다운로드할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 데이터를 분석하고 사용자에게 실시간 피드백을 제공합니다. NIKON NSR 1755 G7E는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼로, 모든 유형의 photolithography 응용 프로그램에서 우수한 결과를 제공합니다. 하이테크 (high-tech) 기능과 고급 이미징 기능의 조합으로 반도체 제작에 이상적인 선택이다.
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