판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7 #293587239

NIKON NSR 1755 G7
ID: 293587239
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1755 G7 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 산업의 리소그래피 프로세스에 사용되는 고성능 스테퍼로, 매우 정확한 성능을 위한 향상된 광학 및 포지셔닝 시스템을 갖추고 있습니다. 와퍼 스테이지 (wafer stage) 의 접지 평탄성과 함께, 엄격한 수차 및 기하학적 교정 제어를 보장하기 위해 고급 비구면 광학이 장착되어 있습니다. 또한 NSR 1755 G7의 높은 수치 조리개 렌즈 (0.93) 및 7 개의 레이저 간섭계 (interferometer) 가 있어 뛰어난 동기화 된 위치 정밀도와 반복성을 제공합니다. 이 스테퍼에는 광학 이미지를 측정하고 정확하게 묘사 할 수있는 기능이 있습니다. 3 밀리미터 (3 mm) 에서 4 인치 (4 인치) 범위의 가변 필드 크기와 매우 넓은 노출 범위를 통해 다양한 유형의 설계 기능을 인쇄하는 데 적합한 광범위한 노출 설정을 제공합니다. 또한 FWE Full-Field Scanner 최적화 (FWE Full-Field Scanner optimization) 기능을 통해 사용자 정의 필드 장력을 사용하여 해상도 및 프로세스 결과를 향상시킬 수 있습니다. NIKON NSR 1755 G7 은 운영 및 유지 보수 비용이 낮아 비용 효율성을 위해 특별히 설계되었습니다. 구동 토크와 속도를 정확하게 제어 할 수있는 모터 제어 시스템 인 니콘 히오시이 (NIKON HIOSIII) 에 의해 구동되는 저진동 구조를 가지고 있습니다. 또한, 시스템에 직접 액세스하고 원격 진단을 수행하기 위한 내장 마우스, 콘솔, 이더넷 포트 등이 장착되어 있습니다. 또한 NSR 1755 G7 은 향상된 데이터 처리량 및 생산성을 제공합니다. 즉, 경쟁 기술보다 최대 5 배나 빠른 속도를 낼 수 있으며, 다양한 Wafer Manufacturing 시스템에 쉽게 통합할 수 있기 때문입니다. 저압 나놀리토그래피 (Nanolithography) 모듈은 나노 스케일 (Nano-Scale) 장치 생산에 적합하게 만드는 반면, 고속 정렬 시스템은 목표를 신속하게 획득하여 사이클 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 우수한 기울기, 초점 제어, 무광택 인쇄를 달성 할 수 있습니다. NIKON NSR 1755 G7 웨이퍼 스테퍼는 고급 성능 기능, 손쉬운 작동성, 뛰어난 신뢰성을 반도체 산업에 이상적인 패키지로 결합합니다. 탁월한 옵티컬/포지셔닝 시스템은 탁월한 정확성과 성능을 제공하며, 탁월한 성능을 제공하므로 비용 효율적이고, 유지 보수가 용이합니다.
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