판매용 중고 NIKON NSR 1505 i7A #9409898
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ID: 9409898
빈티지: 2010
Stepper
Lens data
Field size: 15 x 15 mm
Lamp uniformity: < 2%
Flash power: 300 Mw
Exposure stability: ≤ 1.4%
Water flatness: ≤ 25µm
LSA Focus: < 1.5 µm
Tele focus: < 0.02 µm
Reticle blinds: 0.4 - 0.8 µm
Stepping: Sigma < 0.03 µm
Orthagonality: < 0.2 sec
Reticle rotation: RRep ≤ 0.02 µm
Wafer loader repeatability: Sigma ≤ 5 µm
Overlay: 3 σ
with average ≤ 0.13 µm
Focus repeatability: 3-1 ≤ 0.15 µm
Lens tilt:
UR - LL ≤ 0.45 µm
UL - LR ≤ 0.45 µm
2010 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper는 고급 반도체 장치 제조를 위해 설계된 고정밀 소형 석판화 장비입니다. 신뢰할 수있는 스테퍼/스캐닝 헤드를 갖춘 7 나노 미터 해상도 스텝/스캔 기술을 사용하며 420mm x 500mm의 대형 작업 필드 크기를 갖추고 있습니다. 이 기계는 해상도를 줄이지 않고 대규모 작업 분야에 걸쳐 있습니다. 현대 나노 기술 응용 프로그램 (nanotechnology application) 에서 독특한 이점을 제공합니다. NIKON NSR-1505I7A Wafer Stepper의 광 아키텍처는 단순하고 효과적인 설계를 기반으로 합니다. 이 시스템은 초고해상도 옵티컬 렌즈와 낮은 NA 프로젝션 옵틱으로 구성됩니다. 이 조합으로 인해 420mm x 500mm 이미지 필드와 7nm (최고 해상도) 의 이미지 필드가 생성되며, 일정한 단계 크기를 달성하기 위해 오브젝트의 변위를 정확하게 제어합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 정적 (static) 및 스캐닝 헤드 (scanning head) 응용 프로그램의 변형이 모두 지원되어 생산의 유연성이 보장됩니다. NSR 1505 I7A Wafer Stepper는 성능 및 정확도에 대한 검증된 실적을 제공합니다. 6 축 동작 제어 (Motion Control) 와 단순화된 위치 지정 (Positioning) 을 갖춘 첨단 모션 제어 기술을 통해 더 높은 정확도와 정밀도를 보장합니다. 이 머신에는 인체 공학적, 사용자 친화적 인 소프트웨어 세트가 장착되어 있어, 쉽게 작동할 수 있습니다. NSR 1505 i7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 자체 학습 알고리즘을 포함한 다양한 고급 기능을 사용하여 광석기 학적 노출의 효율성을 극대화합니다. 이 장치는 더 높은 해상도의 이미징 (Imaging) 과 향상된 학생 편광 (Pupil Polarization) 을 달성하여 더 명확한 이미지와 하위 얼굴 이미징을 얻을 수 있습니다. 또한 자동화된 정렬을 통해 운영 라인에 신속하게 통합할 수 있습니다. NSR 1505 I 7 A 웨이퍼 스테퍼 (A Wafer Stepper) 는 신뢰성이 높고 효율적인 기계로, 다양한 기판에서 고정밀 리소그래피를 달성 할 수 있습니다. 소형의 경우 설치 시간을 최소화하면서 기존 운영 라인에 손쉽게 설치할 수 있습니다 (영문). 직관적이고 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어와 결합된 이 기계의 장점은 고급 반도체 소자 제조에 이상적인 선택입니다.
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