판매용 중고 NIKON NSR 1505 i6 #9068876

NIKON NSR 1505 i6
ID: 9068876
웨이퍼 크기: 3"-5"
i-line steppers, 3"-5" Reticle: 5".
NIKON NSR 1505 i6은 고정밀 웨이퍼 리소그래피를 위해 설계된 4 인치 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 장비는 NIKON 고급 옵틱, 세계적 수준의 프로세스, 안정성이 뛰어난 동작을 결합하여 최고의 정밀도 및 생산 효율성을 제공합니다. 이 시스템은 반도체, MEMS 또는 기타 고급 기술에 대한 포토 마스크 처리를 위해 설계되었습니다. NIKON 특허 'i' (인덱스 괄호) 라인 스캔 기술을 활용하여 패턴 인식 오류가 낮고 마스크 결함이 적은 이미지 품질을 제공합니다. NSR 1505 i6 리소그래피 장치는 스테퍼 레벨 정밀도를 사용합니다. 이 기계에는 고정밀 6 축 동작 컨트롤러가 내장되어 있습니다. 이 모션 컨트롤러에는 2단계의 서보 제어 스캐닝 메커니즘이 있어, 포토 마스크 (photomask) 의 매끄럽고 정확한 동작을 항상 제공합니다. 이 도구는 또한 고정밀 웨이퍼 스테이지를 특징으로하며, 이는 리소그래피 동안 정확한 웨이퍼 배치를 보장합니다. 웨이퍼 스테이지에는 와퍼 모서리에서 높은 균일 성을 허용하는 앤티 슬립 (anti-slip) 표면이 있습니다. 또한이 자산에는 NIKON 특허를받은 '플로팅 스테이지 (floating stage)' 모델이 장착되어 있으며, 이를 통해 스테이지는 광학 캐리지와 독립적으로 이동할 수 있습니다. 이를 통해 마스크 로드 중에 장비가 지속적으로 초점을 유지할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 i6에는 강력한 소프트웨어 옵션이 있습니다. 여기에는 자동 초점 및 자동 초점 최적화, 프로그램 관리 및 자동 초점 창 선택이 포함됩니다. 또한 다양한 작업 제어 설정 (최고 속도 및 신뢰성) 을 제공합니다. 전반적으로 NSR 1505 i6 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 최고의 정밀도 및 생산 효율에서 복잡한 포토 마스크 처리에 적합한 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 이 시스템은 고급 모션 컨트롤, 뛰어난 화질, 고정밀 웨이퍼 스테이지, 최고의 소프트웨어 기능을 갖추고 있습니다. 반도체 (반도체) 업계의 광범위한 응용에 적합한 고급단위다.
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