판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9120694
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ID: 9120694
웨이퍼 크기: 5"
Stepper, 5"
Resolution: 0.65㎛
D.O.F: range ≥ 1.5 ㎛
Lens distortion: ≤±0.09 ㎛
Focus stability: ≤0.6 ㎛
Wafer flatness: ≤3 ㎛
Uniformity: ≤±2.0%
Reticle rotation accuracy: ±0.02 ㎛
Overlay: |X| + 3σ ≤ 0.2㎛
EGA alignment accuracy: |X| + 3σ ≤ 0.14 ㎛
Stepping accuracy: 3σ ≤ 0.09 ㎛
Pre-alignment repeatability: 3σ ≤ 2 5㎛
Utilities:
Electrical power: 200V±20 V, 3 Phase, 50 A, 50/60 Hz
Air: ≥3 kg/cm2, 5 L/min, 1/4"
Vacuum: ≤300 mmHg, 50 L/min, 1/4"
PCW: 16°-32°C, ≥3 kg/c, 18 L/min, 1/2"
Thermal exhaust: 1000L/min, 125mm
Drain: 1".
NIKON NSR 1505 G6E는 고급 반도체 회로 제조를 촉진하기 위해 설계된 다중 필드, 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 정밀하고 반복 가능한 정확도 (A) 로, 광범위한 디바이스 유형에 탁월한 성능을 제공합니다. NIKON NSR-1505G6E는 4x 및 5x 스캔 노출 모드를 사용하여 모든 디바이스 또는 애플리케이션에 적합합니다. 사용 가능한 다양한 프로젝션 렌즈 (2 개의 비구면 렌즈, 원격 센터 렌즈 및 초소형 렌즈 포함) 는 다양한 초점 길이에 걸쳐 매우 정확한 결과를 제공합니다. 이 장치는 또한 렌즈 스캐닝 모드 (lens scanning mode) 를 특징으로하며, 이는 한 단계에서 여러 번의 노출을 수행하여 스캔 노출의 효율성을 높입니다. NSR 1505 G6E 는 정확한 수준의 진공 제어 (vacuum control) 를 통해 청소실 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 제어 장비에는 스테퍼의 공기 입자 농도를 모니터링하는 초저입자 감지 장치 (ultra-low particulate sensing unit) 가 포함됩니다. 따라서 안정적이고 깨끗한 운영 환경을 지속적으로 제어할 수 있습니다. NSR-1505G6E 는 여러 사용자 옵션 (user-optional) 기능을 제공하므로 최종 사용자가 디바이스를 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 이러한 옵션 중 하나는 고해상도 비네팅 (Vignetting) 과 최적화 기능의 조합을 사용하는 효율적인 노출 전략입니다. 이는 오차 (misalignment) 나 수차 (aberration) 로 인한 광학 효과 수를 줄여 높은 수준의 정확도를 제공하는 데 도움이됩니다. NIKON NSR 1505 G6E는 다양한 응용 프로그램을 지원하기 위해 라인 거리, 비스듬한 라인 등 다양한 하프 피치 형상 패턴을 수용 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 자동 정렬 (auto-alignment) 및 중앙 집중식 루틴 (centering routine), 웨이퍼 프로세스 결과를 검증하는 빠른 테스트를 제공하는 인라인 테스트 기능 등이 있습니다. NIKON NSR-1505G6E에는 시스템 정확성과 생산성을 높이는 다양한 자동화 패키지 옵션이 포함되어 있습니다. 여기에는 강력한 멀티 트랙 (multi-track) 스테이지가 포함되며, 스테퍼는 보다 빠르고 정확하게 움직일 수 있으며, 들어오는 웨이퍼와 저장된 참조 이미지를 측정하고 비교하는 비전 정렬 장치 (vision alignment unit) 가 포함됩니다. 또한 스텝퍼 (stepper) 는 워크플로우 효율화, 다운타임 단축, 운영 효율성 최적화를 위해 기존 운영 시설과 통합될 수 있습니다. 전반적으로 NSR 1505 G6E는 강력하고 정확한 스테퍼로, 웨이퍼 처리에 탁월한 결과를 제공합니다. 멀티필드 옵틱과 진공 제어 머신은 하이엔드 웨이퍼 제작에 적합합니다. 다양한 자동화 패키지 (Automation Package) 및 기타 사용자 옵션을 통해 고급 반도체 생산을 선택할 수 있습니다.
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