판매용 중고 CANON FPA 3000 EX4 #293586146

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ID: 293586146
빈티지: 1998
Stepper CYMER ELS 5300 Laser system CGWS-01 O-Zone generator No lens data 1998 vintage.
CANON FPA 3000 EX4는 반도체 칩 생산을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 고정밀도 및 정렬 정확도를 위해 8 채널, 2 단계 광학 장비를 갖추고 있습니다. 이 스테퍼는 또한 단일 (single) 및 다중 (multiple) 노출 샷을 모두 처리할 수 있으며, 처리된 웨이퍼에 대한 노출 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. CANON FPA-3000EX4는 새로 개발 된 벡터 제어 샷 시프트 시스템 및 미세 이미지 형성 렌즈로 설계되었습니다. 따라서 전체 웨이퍼에 걸쳐 초점 수준이 일정하고 이미지 품질이 일관되게 유지됩니다. 통합 진동 분리 장치 (integrated vbration isolation unit) 는 노출 중 진동을 제거하여 열 드리프트의 결과로 온도 불안정의 감쇠 시간을 최소화합니다. 또한 고속 I/O 컨트롤러가 장착되어 있어, 노출 과정에서 대용량 데이터를 신속하게 처리할 수 있습니다. 높은 이미징 기능을 위해 FPA-3000 EX4에는 새로 개발된 EX4 Imaging Control Machine이 장착되어 있습니다. 즉, 전체 자동 정렬 프로세스를 단순화하는 매우 정확하고 안정적인 이미지 디스플레이를 제공합니다. 또한 웨이퍼 두께가 변경될 때마다 최적의 초점 수준을 찾도록 설계된 새롭게 설계된 HPAS (High-Precision Autofocus Tool) 가 제공됩니다. FPA-3000EX4는 에너지 활용도를 최적화하는 고효율 조명 자산을 제공합니다. 6 레이저 반사재로, 이 스테퍼는 광석판 공정에 대해 최대 7,000 mW-의 에너지 강도를 달성 할 수 있습니다. 내장 된 MST (Micro Scissors Tilt) 보정기는 샷의 기울기를 빠르고 정확하게 감지하여 노출 중 크로스 슬로프 오류를 방지합니다. 사용자 편의를 위해, FPA 3000 EX4에는 사용자 친화적 인 모니터가 장착되어 있어, 작업자가 노출 매개변수를 제어하면서 웨이퍼 정렬을 볼 수 있습니다. 또한 미리보기 모드 (Preview-Mode) 기능을 통해 사용자가 사전 노출 샷을 보고 처리된 웨이퍼의 정렬을 확인할 수 있습니다. 이렇게 하면 제조 과정에서 노출이 빠르고 정확하게 배치됩니다. 웨이퍼를 안정적으로 처리하기 위해 CANON FPA-3000 EX4는 미립자 오염을 줄이고 깨끗한 웨이퍼 표면을 유지하기 위해 깨끗한 환경을 최적화하는 공기 청결 제어 기능을 제공합니다. 또한 웨이퍼로 인한 X- 선 손상을 줄일 수있는 헬륨 교환 모델이 있습니다. CANON FPA 3000 EX4는 안정적인 성능, 고속, 정밀 정렬로 인해 정밀 웨이퍼 스테퍼 요구에 이상적인 선택입니다. 그것의 포괄적 인 특징은 반도체 칩 생산에 훌륭한 선택입니다.
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