판매용 중고 ASML PAS 2500 / 40 #9027711

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ASML PAS 2500 / 40
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ID: 9027711
Wafer stepper.
ASML PAS 2500/40은 일반적으로 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 단계 및 반복 장비이며 ASML Photomask and Reticle (P&R) 마스크 생산 포트폴리오의 일부입니다. 이 툴은 마스크 (Mask) 생산 시 높은 생산성과 생산성을 실현할 수 있도록 설계되었으며, 제조 부지가 소형기 (Device Size) 와 더 빠른 주기 (Cycle Time) 에 대한 수요를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. ASML PAS 2500/40은 필요한 정확성과 처리량을 제공하기 위해 4 개의 광 시스템, 양면 마스크 스테이지, 다크 필드 이미징 기능 및 패턴 생성기를 사용합니다. 이 플랫폼의 양면 웨이퍼 스테퍼는 4 인치 및 8 인치 플랫폼을 지원하도록 설계되었으며, 따라서 가장 복잡한 마스크도 쉽게 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 100 만 개의 패턴을 만들 수 있으며, 해상도는 50nm입니다. PAS 2500/40에는 마스크 검사 장치, 초고정밀 기판 단계, 다양한 정교한 소프트웨어 도구 등 고급 기능이 제공됩니다. 또한 조명의 균일성을 향상시키고, 초점의 깊이를 높이고, 수확량을 향상시키도록 설계된 혁신적인 조명 기계 (Information Machine) 가 있습니다. 이 도구는 또한 빠른 스캐닝 속도를 제공하며, 시간당 최대 25 개의 웨이퍼가 있습니다. PAS 2500/40 (PAS 2500/40) 은 불량률이 매우 낮은 신뢰할 수 있는 툴로, 버러가 최소화되고 왜곡이 없는 고품질 마스크를 만들 수 있습니다. RoHS 는 환경 친화적인 솔루션으로, RoHS 의 승인을 받아 환경 면적을 크게 줄여줍니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 마스크 로딩 (mask loading) 에서 기판 언로딩 (substrate unloading) 에 이르기까지 효율적인 전체 생산 프로세스를 제공하며 사용자는 최대 가동 시간을 제공하고 운영 비용을 절감합니다. 또한, 직관적인 소프트웨어를 통해 사용자는 신속하게 프로세스를 설정하고 모니터링할 수 있으며, 통합 워크플로우 (Integrated Workflow) 는 운영 효율성을 높이고 프로젝트를 신속하게 전환할 수 있습니다. 전반적으로 ASML PAS 2500/40은 마스크 생산을위한 원스톱 (one-stop) 솔루션을 제공하며 반도체 제조업체에 필수적인 도구입니다. 생산량 증대, 비용 절감, 제조 효율성 및 품질 향상을 위해 설계되었습니다.
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