판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-60A #9006817

DNS/DAINIPPON SSW-60A는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 산업에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 또는 포토 마스크 (photomask) 표면을 청소하기 위한 자동화된 고성능 장비입니다. DNS SSW-60A (Vertical Type Scrubber) 는 회전 브러쉬를 사용하여 웨이퍼와 마스크의 표면을 철저히 청소하는 수직 스크러버입니다. 그것 은 DI 물 과 특허 를 받은 세제 를 사용 하여 "웨이퍼 '와" 포토마스크' 표면 에서 흙, 잔류 물, 유기물 을 효과적 으로 제거 한다. 수송 롤러 컨베이어 (transport roller conveyor) 는 스크러빙 단계 사이에서 웨이퍼와 마스크를 이동하는 데 사용됩니다. DAINIPPON SS-W60A는 3 ~ 8 인치 웨이퍼 및 5 ~ 8 인치 마스크의 광범위한 웨이퍼 및 마스크 크기를 수용 할 수 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 프로세스는 매우 구성 가능하여 주기와 패스 수가 다릅니다. 스크러빙 스테이션 (scrubbing station) 을 조정하여 각 웨이퍼 및 마스크와의 최적 접촉을 위해 브러쉬를 정확하게 정렬할 수 있습니다. DAINIPPON SSW-60A는 또한 잔류 입자를 제거하기 위해 고급 자외선 (UV) 빛을 사용하는 최첨단 청소 시스템을 갖추고 있습니다. 자외선 (UV light) 은 가시 광선보다 파장이 짧아 기판에 더 침투하여 기질의 큰 입자를 제거 할 수있다. 이 장치는 또한 각각의 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 에 대해 제거 된 입자 수를 추적하는 효율성 모니터링 기능을 제공합니다. DNS/DAINIPPON SS-W60A에는 스크러빙 매개변수를 쉽게 구성할 수 있는 터치 스크린 패널이 장착되어 있습니다. 암호 보호 액세스, 레시피 설정, 공장 사전 설정 스크러빙 주기 등의 고급 기능도 사용할 수 있습니다. 더 효율적인 청소 프로세스를 위해 스크러빙 사이클을 추가로 사용자 정의 할 수도 있습니다. 또한, 이 기계는 청소, 웨이퍼 추적, 데이터 로깅을 위한 고급 기능을 갖추고 있습니다. DNS SS-W60A는 산업 환경의 안전성과 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 안전 램프, 비상 정지 버튼, 경보 시스템 등의 고급 보호 장치가 특징입니다. 이동하는 스크러버 브러시 암 (brush arm) 으로 인해 인원을 부상으로부터 보호하기 위해 안전 기능도 제공됩니다. 전반적으로, SS-W60A (Line Wafer and Mask Scrubber) 는 정밀한 반도체 및 평면 패널 디스플레이 청소 요구 사항을 위해 가장 고급적이고 안정적인 청소 프로세스를 제공하는 라인 웨이퍼 및 마스크 스크러버 상단입니다. 사용자 지정 가능한 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle), 효율적인 클리닝 프로세스, 최대한의 신뢰성을 위한 고급 안전 (safety) 기능과 같은 기능을 제공합니다.