판매용 중고 DISCO DCS 141 #9148247

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ID: 9148247
Wafer cleaning system, 8" Applicable tape frame size: 2"-8" Table rotating speed: 0-3000 min-1 (RPM) Spinner discharge pressure: 2.0-12.0 (Mpa) Air: 0.5 Mpa 216 L/min N2: 0.5 Mpa 54 L/min Water: 0.1 Mpa 0.1 L/min Power: 100 V, Single phase, 1.5 KVa.
DISCO DCS 141은 반도체 산업에서 젖은 스크러빙 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 시스템은 정교한 RFID 및 사용자 ID 인증 장비를 통해 무단 액세스 (Unauthorized Access) 또는 활동을 방지할 수 있습니다. 주요 이벤트와 운영자 활동을 기록하고 저장할 수도 있습니다. DISCO DCS141에는 빠르고 정확한 스크러빙을 위해 3 중 속도 원심 장치가 장착되어 있습니다. 고급 스크러빙 기술은 유기, 비 유기 및 항성 등 다른 모드에서 우수한 입자 제거를 보장합니다. 편안한 터치스크린 인터페이스를 통해 몇 분 안에 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다. 이 기계에는 웨이퍼/마스크 스크러빙 (scrubbing) 공정에서 가장 높은 소독이 가능한 딥 퍼플 (deep purple) LED를 포함한 여러 LED 조명 시스템이 장착되어 있습니다. 이것 은 오염 의 위험 을 최소화 하는 데 도움 이 되며, "스핀 '건조기 는 재빨리" 웨이퍼' 지각 에서 수분 을 제거 한다. 최적화된 건조 (optimized drying) 는 또한 입자의 최대 제거를 위해 높은 스크러빙 효율로 프로세스 처리량을 최대화하는 데 도움이됩니다. 또한 높은 온도 균일성을 보장하여 성능을 향상시킵니다. 또한, 물 사용량이 적고, 지속적인 성능을 위해 안정적으로 작동합니다. DCS 141은 안전을 위해 설계되었습니다. 온도 보호 시스템, 수위 검출기, 다중 센서, 무거운 웨이퍼에도 최대 안전을위한 이동 제어 도구 (Movement Control Tool) 가 있습니다. 또한 웨이퍼 화학 물질의 불법 방전을 방지하는 백플로 방지 자산이 있습니다. 이 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 또한 고속 작동에서도 고효율성을 위해 무진동 작동 (Vibration-Free Operation) 및 PID 제어 모델 (PID Control Model) 과 같은 다양한 다른 고급 기능을 자랑합니다. 또한 견고한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 디자인과 오염의 위험을 제거하는 잘 봉인 된 커버가 특징입니다. 전반적으로, DCS141은 우수한 성능과 안전을 제공하는 반도체 업계의 습식 스크러빙 (wet scrubbing) 프로세스에 적합한 선택 사항입니다. 다양한 고급 기능을 갖춘 이 와퍼 (wafer) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 안정성이 높고 효율적인 운영을 위한 완벽한 선택입니다.
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