판매용 중고 FANUC M-6iB 6S iC #9111929

FANUC M-6iB 6S iC는 반도체 재료 및 장치의 제작에 사용하도록 설계된 산업 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 최소한의 운영자 개입으로 배치당 최대 20 개의 웨이퍼를 보유, 운송, 포지셔닝할 수 있습니다. 로봇에는 고급 토크 모니터링 장비 (torque-monitoring equipment) 와 정확한 웨이퍼 배치 및 수송을위한 미세 조정 모션 제어 (motion control) 가 있습니다. 내장형 컨트롤러로 6 축 관절 암 (articulated arm) 을 사용하여 웨이퍼의 정밀 처리를 위해 다양한 도달 범위와 반복성을 갖춘 3D 모션을 제공합니다. 로봇에는 6 개의 관절로 구성된 1 차 모션 시스템이 있으며, 이를 통해 3 차원 공간에서 작고 효율적으로 움직일 수 있습니다. 조인트는 최대 유연성을 위한 선형 동작 (linear motion) 으로 구성되며, 일련의 인코더와 제한 스위치 (limit switch) 에 의해 제어되어 위치의 동작과 추적을 조절합니다. "로봇 '은 650" 킬로그램' 의 부하 용량 과 최대 1800 "밀리미터 '에 이르기 까지" 와퍼' 의 크기 와 모양 을 처리 하여 정확성 과 반복성 을 보장 할 수 있도록 설계 되었다. 6 축 손목은 처리 과정을 미세하게 제어하기 위해 수동으로 또는 전자적으로 조작 할 수 있습니다. "로봇 '은 직장 에서의 안전 을 보장 하기 위하여 과부하 보호, 충돌 탐지 장치, 비상 정지 기능 등 여러 가지 안전 기능 을 갖추고 있다. 대부분의 최신 웨이퍼 (Wafer) 구성 시스템과 호환되도록 설계되어 기존 프로세스에 원활하게 통합할 수 있습니다. 또한 RS-232, Ethernet, USB 등의 다양한 통신 인터페이스를 통해 서로 다른 시스템과의 통신을 용이하게 합니다. 로봇은 고성능을 위해 설계되었으며, 최대 800mm/s의 속도로 작업을 실행할 수 있으며, 반복 성능은 ± 0.01mm입니다. 복수 축, 다중 사전 설정 위치, 프로그래밍 가능한 기능을 사용하여 복잡한 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 비전 가이던스 머신 (Vision Guidance Machine) 이 옵션으로 제공되며, 이는 로봇이 자신의 환경을 인식하고 응답할 수 있도록 설계되었습니다. "로봇 '은 쉽게 구성하고 사용할 수 있으며, 사용자 친화적인 소프트웨어를 통해 PC 나 PLC 를 사용하여 로봇을 쉽게 제어할 수 있습니다. M-6iB 6S iC 웨이퍼 핸들러는 정밀도, 반복성 및 속도로 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 고급 산업 로봇입니다. 이 제품은 웨이퍼 (Wafer) 제작을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션으로, 다양한 유형의 운영 환경에서 사용할 수 있습니다. 고성능 이동과 안전 (Safety) 기능을 통해 웨이퍼 처리 프로세스의 정확성과 안정성을 보장합니다.