판매용 중고 EVG / EV GROUP S08P4I.RD #9022851

ID: 9022851
Robot (GENMARK), 6" P/N: 9900107161 For EVG 620 Aligner system Low hours 2001 vintage.
EVG S08P4I.RD 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 직경 최대 8 인치, 높이 최대 15.75 인치의 기판을 처리하도록 설계된 컴퓨터 제어 정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. S08P4I.RD 웨이퍼 핸들러 (S08P4I.RD Wafer Handler) 는 최고 수준의 정확성과 반복성을 제공하여 차원 공차를 정확하게 제어하고 최대 1.2mm의 온도 균일성을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러는 IC 장치 제조, 공정 엔지니어링, 광학 장치 제작, 사진 해설과 같은 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. S08P4I.RD Wafer Handler는 메인 프레임, 로봇 암 및 웨이퍼 홀더로 구성됩니다. 메인 프레임은 캐스트 알루미늄으로 만들어졌으며, 정확한 높이 조정을위한 전동 Z축을 특징으로합니다. "로봇 '암 은 기동 할 수 있으며," 웨이퍼' 를 정확 하게 배치 하고 올바른 "패턴 '을 지향 하도록 고급 제어 장치 를 갖추고 있다. 웨이퍼 홀더는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 웨이퍼 기판을 안전하게 제자리에 박아 넣기 위해 4 개의 독립적 인 팔을 포함합니다. S08P4I.RD 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 구성 기능이 뛰어나며 모든 애플리케이션의 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 고급 비전 유닛 (Advanced Vision Unit) 을 장착하여 웨이퍼가 정확하게 배치되고, 온도가 균일하고 일관성 있는 성능을 보장하는 통합 제어 머신 (Integrated Control Machine) 을 제공합니다. 또한 힌지 (hinged) 액세스 도어, 툴링 슬롯, 교체 가능한 테이프 침대 (replaceable tape bed) 를 사용하여 손쉬운 유지 관리 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. S08P4I.RD 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 온도 초과, 전류 초과 및 전압 초과 보호 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 모든 형태의 보호는 다양한 작업의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 또한 "컴퓨터 '인터페이스 를 통하여" 프로그램' 할 수 있는, 융통성 있는 진공 따기 도구 가 장착 되어 기판 의 안전 한 위치 를 보장 해 준다. 또한, 안전 레이저 자산은 방해시 모든 동작 동작을 중지합니다. S08P4I.RD 웨이퍼 핸들러 (S08P4I.RD Wafer Handler) 는 효율적이고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 처리 모델로, 다양한 어플리케이션에 대해 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 그 기능은 고정밀 어셈블리 및 처리에 이상적인 솔루션입니다. Wafer Handler 의 유연성과 구성성은 모든 애플리케이션의 가치를 더욱 향상시킵니다.
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