판매용 중고 VEECO / DEKTAK Spector #9160719

VEECO/DEKTAK Spector는 고정밀 표면 프로파일링을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. XSR (X-ray surface reflectometry) 과 OIE (optical interferometric encoder) 의 조합을 사용하여 기판의 표면 특성을 측정합니다. VEECO Spector 시스템은 음극 스퍼터링 증착 공정을 사용하여 샘플에 증착 물질 층을 형성합니다. XSR 기술을 사용하면 서피스 토폴로지가 정확하게 결정되고, OIE (surface roughness) 를 측정할 수 있습니다. XSR 기술에는 X- 선 방사선이 X- 선 소스에서 샘플 표면에 투영되는 것이 포함됩니다. 그런 다음, 반사 된 방사선은 X- 선 검출기에 의해 수신되고, 샘플의 토폴로지를 결정하기 위해 분석된다. OIE 인코더는 비슷한 방식으로 작동하지만, X 선 방사선으로 제한되는 대신, 모든 광원을 사용할 수 있습니다. OIE는 간섭 기술을 사용하여 빛을 2 개의 빔으로 분할하고 샘플 표면에서 반사합니다. 반사된 빔의 차이는 서피스 프로파일을 정확하게 감지하는 데 사용됩니다. DEKTAK Spector 스퍼터 장치에는 원격 진공기, 압력 모니터, 공구 설정 제어용 컴퓨터 인터페이스 등이 있습니다. 원격 진공 자산 (remote vacuum asset) 은 챔버의 진공 상태를 유지하는 역할을 하며 1.0mbar 에서 최대 1e-8mbar 까지 설정된 지점에 도달하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 압력 모니터 (pressure monitor) 는 약실의 압력을 측정하고 압력 (pressure) 이 세트 한계에 도달하면 경보를 보냅니다. 컴퓨터 인터페이스는 스퍼터링 소스 전원, 증착률, 기판 회전 및 기타 매개변수를 제어하는 데 사용됩니다. Spector sputter 모델은 금속 증착, 산화물, 박막, 스퍼터 산화물 및 나노 구조를 포함한 다양한 재료 증착, 표면 수정 및 분석 응용 분야에 사용됩니다. 메모리 (memory) 와 전자 (electronics) 업계에서 널리 사용되며 정확한 레이어 제어 및 균일성을 지원합니다. VEECO/DEKTAK 스펙터 스퍼터 장비 (Spector Sputter Equipter Equipment) 는 현장의 성장률을 모니터링하고 퇴적물의 구조적 특성을 분석하는 데 사용될 수도 있습니다. 결론적으로, VEECO Spector 스퍼터 시스템은 고급 표면 프로파일 링 및 재료 증착 장치입니다. 표면 토폴로지 결정을위한 XSR 기술과 표면 거칠기 측정을위한 OIE (OIE) 를 사용하며, 다양한 재료 증착, 표면 수정 및 분석 응용 프로그램에 사용됩니다. 이 기계는 메모리 (memory) 와 전자 산업 (electronics industries) 에 널리 사용되며 정확한 레이어 제어 및 균일성을 가능하게합니다.