판매용 중고 VEECO / DEKTAK Spector #9095769

VEECO/DEKTAK Spector는 얇은 필름을 표면에 증착시키는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 반도체, 평면 (Flat) 패널, 디스플레이, 광학 제조 등 다양한 업계 어플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 코팅 시스템입니다. 이 장치는 물리적 증기 증착 기술 (physical vapor deposition technology) 을 기반으로하며 박막 (thin film) 을 기판 재료에 빠르고 균일하며 정확하게 증착 할 수 있습니다. 통합 기본 모듈, 프로세스 챔버, 고정밀 기판 스테이지 및 통합 프로세스 제어 머신 (integrated process control machine) 으로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 에는 배치 챔버 (batch chamber) 와 외부 소스 (external source) 의 두 가지 공정 소스가 있으며, 이를 통해 다양한 증착 기술이 가능합니다. 이 도구는 최대 4 "크기의 재료를 처리하도록 설계되었으며, 총 작동 면적은 13", 온도 범위는 최대 500 ° C입니다. 이렇게 하면 금속, 도체, 유전체, 저항기 등 여러 가지 물질 이 증착 될 수 있습니다. 이 자산에는 선형 및 반복 가능한 XYZ 모션 스테이지, 양면, 완전자동 웨이퍼 처리 모델 및 특허를받은 ValPlus ™ 7-CAD 웹캠 장비를 포함한 정밀 자동화 기능이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 기판의 움직임, 위치, 방향, 정렬 및 정확도를 신뢰할 수 있습니다. VionPlus (tm) 시스템은 프로세스에 대한 종합적인 그래픽 개요를 제공하며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 자세히 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 실시간 재료 특성화를위한 EDX 품질 제어 머신도 제공합니다. 이 도구는 고성능 전자 및/또는 광학 재료를위한 박막 (thin film) 의 합성, 산업 기판을위한 보호 또는 장식 코팅의 증착 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. VEECO 스펙터 (VEECO Spector) 자산은 여러 유형의 업계 애플리케이션을 위한 씬 필름 제작을 위한 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다.