판매용 중고 VEECO / IONTECH Spector #96855

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VEECO / IONTECH Spector
판매
ID: 96855
System.
VEECO/IONTECH 스펙터 (VEECO/IONTECH Spector) 는 광범위한 용도로 설계된 특수 스퍼터링 장비로, 사용자가 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스를 통해 기판에서 고품질의 코팅을 생산할 수 있습니다. 이 시스템은 고출력 아크 소스로 인해 독특하며, 표준, 복잡하고 섬세한 기판을 쉽게 처리 할 수 있습니다. VEECO 스펙터 (VEECO Spector) 는 다중 챔버 장치이며, 기판 처리를위한 중앙 챔버와 소스 처리를위한 2 개의 다른 챔버가 있습니다. 각 챔버에는 이온 소스 (Ion Source), 배치 전송 메커니즘 및 정밀 동작 단계 세트를 포함한 자체 컴포넌트가 있습니다. 중앙 챔버 (Central Chamber) 는 코팅 중에 기판을 보유하고 있으며, 2 개의 사이드 챔버에는 스퍼터링 프로세스에 필요한 소스가 들어 있습니다. IONTECH Spector 기계에서 사용하는 Ion 소스는 강력하고 효율성이 높습니다. 이러 한 "소오스 '는 공정" 가스' 를 "이온화 '시키고, 표적 물질 의 분자 결합 을 끊을 수 있는" 에너지' 로 가속 시켜 그 입자 를 기판 에 박동 시킨다. 증착 전달 메커니즘은 입자가 전체 기판에 균등하게 분배되도록 보장하는 반면, 정밀 운동 단계는 증착 속도 (deposition rate) 를 높이고 필름 두께 변화를 최소화함으로써 증착 속도를 증가시킵니다. 또한 Spector 도구는 3 축 동작 제어, 온도 제어 및 닫힌 루프 가스 전달 에셋과 같은 고급 제어 옵션을 제공합니다. 이러한 고급 피쳐로, 모델은 다양한 복잡한 기판 (예: 표면 무정형 패턴) 을 정확하게 처리 할 수 있습니다. 또한, 알루미늄, 텅스텐, 티타늄 및 몰리브덴과 같은 재료는 모두 VEECO/IONTECH Spector 장비와 함께 사용될 수 있습니다. 안정적인 최종 결과를 위해, VEECO Spector 시스템은 완전히 보호되어, 압력 안정성 및 RF 차폐뿐만 아니라 주변 및 공정 가스 온도 조절을 모두 제공합니다. 또한, 이 장치는 자동 진단, 상태 알림 및 자체 정렬 카트리지를 제공하여 성능을 극대화합니다. 전반적으로 IONTECH Spector는 고품질 코팅과 필름을 생산할 수있는 고성능 스퍼터링 머신입니다. 효율적인 이온 소스, 자동 기능 및 환경 관리 기능을 통해 Spector는 많은 산업, 의료 및 연구 응용프로그램에 이상적인 선택이 될 수 있습니다.
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