판매용 중고 VARIAN / NOVELLUS M2i #9027015

VARIAN/NOVELLUS M2i는 재료 증착 및 박막 제조에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 모듈성을 염두에 두고 설계되었으며, 다양한 구성 요소로 스퍼터 (Sputter) 장치를 구성할 수 있습니다. VARIAN M2i는 두 가지 주요 구성 요소, 즉 진공 처리 실과 스퍼터 음극 어셈블리로 구성됩니다. VARIAN/NVELLUS NOVELLUS M2i의 진공 처리 챔버 (vacuum processing chamber) 는 스퍼터링 프로세스가 깨끗하고 높은 진공 환경 내에서 이루어지도록 가스 타이트, 진공 타이트 밀봉이있는 스테인리스 스틸로 구성됩니다. 챔버에는 터보 펌핑 기능, 디지털 온도 감지 및 측정 기계, 비활성 가스 도입 도구, 컴퓨터 제어 모니터링 및 제어 자산이 장착되어 있습니다. M2i (M2i) 의 스퍼터 음극 (sputter cathode) 어셈블리는 얇은 층의 물질을 기판에 침전시키기 위해 고 에너지 입자를 배출하는 역할을 한다. 스퍼터 음극 어셈블리 (sputter cathode assembly) 는 플라즈마를 제어하고 유지하는 양극, 도가니 홀더 및 모듈로 구성됩니다. 어셈블리의 제어 및 모니터링 구성 요소에는 직류 (DC) 바이어스 및 AutoEqualizer 모듈이 포함되어 있어 증착률이 일관되게 유지됩니다. VARIAN/NOVELLUS M2i에는 전자 에너지 모니터 (EEM) 및 증착율 모니터 (DRM) 와 같은 몇 가지 추가 응용 프로그램도 있습니다. EEM은 스퍼터 프로세스 중 입자의 에너지를 모니터링하고, DRM은 증착율을 모니터링합니다. 이 두 가지 기능 모두 스퍼터 프로세스 (sputter process) 를 설정하고 원하는 결과를 달성하기 위한 정보 (information) 및 제어 (controlled) 방법을 제공합니다. 전반적으로 VARIAN M2i는 재료 증착 및 박막 제작을 위해 제작 된 고급 스퍼터링 모델입니다. 경제적이고 신뢰할 수 있는 솔루션으로, 사용자가 원하는 스퍼터 (Sputter) 프로세스 결과를 쉽게 구성할 수 있고 효율적으로 얻을 수 있게 해 줍니다. 이 장비는 강력한 제어 (Control) 및 모니터링 (Monitor) 옵션을 갖춘 견고한 구성 요소 (모두 높은 진공 환경) 로 구성되어 정확하고 최적화된 증착률을 보장합니다.