판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9257988

VARIAN 3290 STQ는 다양한 재료의 초박막 (ultra-thin film) 을 다양한 기판에 배치하는 데 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 직류 (DC) 스퍼터링 프로세스를 사용하여 필름의 증착율, 두께, 구성을 정확하게 제어합니다. VARIAN 3290STQ 내의 스퍼터링 공정은 일반적으로 전용 터보-분자 펌프 (turbo-molecular pump) 를 사용하여 고주파 저압 가스가 챔버에 도입 될 때 시작됩니다. 그 다음, 기판 과 "스퍼터 '원 에 DC 전압 을 가하여 그 들 사이 에 전기장 을 가하여" 가스' 에 "이온 '을 만든다. 그 다음 "에너지 '성" 이온' 은 "스퍼터 '표적 을 향해 가속 되어 물질 을 표면 에서 분사 시킨다. 그런 다음 스퍼터링 된 원자는 기판에 침전되어 얇은 필름을 형성합니다. 3290 STQ는 스퍼터링 프로세스를 완벽하게 제어합니다. 장치의 전압, 전력, 가스 흐름을 실시간으로 조정하여 최적의 증착을 보장 할 수 있습니다. 예를 들어, 더 높은 전압은 종종 필름 증착 속도를 증가시키는 반면, 낮은 전압은 더 균일 한 필름을 만드는 데 사용될 수있다. 이 기계는 또한 여러 표적을 동시에, 순차적으로 배치하여 맞춤형 속성을 가진 복잡한 다층 필름 (multilayered film) 을 만들 수있는 기능을 제공합니다. 3290STQ도 완전히 자동화되도록 설계되었습니다. 폐쇄 루프 제어 시스템 (closed-loop control systems) 은 서보 제어 자석 및 소스와 함께 전체 기판에서 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 또한, 이 툴의 고급 데이터 획득 시스템 (Advanced Data Acquisition Systems) 은 필름 증착률 및 구성의 정확한 특성을 부여하며, 아카이빙을 위한 데이터를 저장할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3290 STQ는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 스퍼터링 자산으로, 초박막 증착을위한 고급 가능성을 제공합니다. 프로세스 제어와 정밀 모니터링이 자동화된 다목적 설계로, 매번 고품질의 일관성 있는 필름 (film) 증착을 보장합니다.