판매용 중고 VARIAN 3290 #9212609

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VARIAN 3290
판매
ID: 9212609
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6".
VARIAN 3290은 산업용으로 특별히 설계된 스퍼터링 장비입니다. 전도성, 금속 및 비 전도성 재료의 박막 (thin film) 을 다양한 표면에 증착 할 수 있습니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 표적의 표면에서 물질 입자를 제거하는 과정으로, 스퍼터 건 (Sputter gun) 으로 알려진 1 차 원본의 정력적인 입자로 폭격합니다. 입자는 결국 처리되는 표면에 정착하여 얇은 필름을 만듭니다. 3290은 고속 생산 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 설계된 단일 선박, 이중 선박 또는 다중 essel 시스템입니다. 이 장치 는 최대 60kW 의 전력 을 공급 할 수 있는 "에너지 '공급 장치 를 갖추었기 때문 에, 급속도 의" 사이클' 시간 을 내면서 광범위 한 재료 를 분출 할 수 있다. 또한 증착 중 챔버 (chamber) 와 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 모니터링하는 자동화된 공정 제어 머신 (automated process control machine) 을 사용하여 안정적인 필름이 형성됩니다. 이 도구는 자기 데이터 저장 미디어, 투명 컨덕터, 광 코팅 (optical coating), 절연 레이어 (insulation layer) 를 포함한 대부분의 저항 및 유전체 재료 증착 응용 프로그램에 적합합니다. VARIAN 특허 자동 자동 조정 양방향 바이어스 에셋은 압력과 전력과 같은 최적의 스퍼터 매개변수를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 이 기능은보다 안정적이고 반복 가능한 필름 품질, 더 나은 표면 품질 (surface quality) 을 제공합니다. 바리안 3290 (VARIAN 3290) 은 운영자와 장비를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 갖춘 견고한 모델입니다. 자동 챔버 클리닝 (Automated Chamber Cleaning) 장비가 내장된 최소 유지 보수 및 다운타임으로 작동하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 -80C 정도의 낮은 온도에서 증착 할 수있는 우수한 진공 성능을 제공합니다. 전반적으로 3290은 고급 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 로, 산업 등급 응용 분야에 뛰어난 박막 증착 품질 및 반복 가능성을 제공합니다. 안정적이고, 견고하며, 사용이 용이하여 증착 매개변수와 작동 시간을 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 기능을 갖추고 있으며, 업계 제품 (industrial product) 에 사용되는 고품질의 균일 한 박막 (thin film) 을 예치하기 위한 최고의 솔루션 중 하나입니다.
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