판매용 중고 VARIAN 3290 #9174285

VARIAN 3290은 반도체 장치 제작 및 박막 처리를 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 3290은 열, 반응성 및 이온 보조 증착과 같은 다양한 표준 스퍼터링 프로세스를 사용하여 Al, Au, Cr, Ti, Cu, W, Ta, Nb 및 NiCr 합금을 포함한 다양한 재료 시스템의 박막 증착을 사용합니다. 이 시스템은 금속, 유전체 및 반도체 필름도 가능합니다. VARIAN 3290 장치는 고급 박막 아키텍처 제작을위한 최고의 솔루션입니다. 즉, 단일 플랫폼에서 박막 (thin film) 을 배치하여 높은 처리량을 달성하고, 장치 설계를 위한 레이어 성능을 최적화할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 기계는 최신 압력 (pressure) 과 온도 조절 (temperature control) 패키지를 사용하여 정확한 두께 제어 및 구조 정의를 위한 정확한 스퍼터링 환경을 보장합니다. 공구 는 "스퍼터링 '" 가스' 를 변화 시켜 설계 의 특정 한 필요 와 퇴적 하는 재료 를 충족 시킬 수 있다. 또한 다층 필름 (multi-layered film) 의 증착 요건에 맞게 온도 및 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 3290 자산은 PPC (Precision Process Control) 기술로 인해 반도체 응용 프로그램에 적합하며, 프로세스 설정 사이를 쉽게 전환할 수있는 기능으로, 반응 압력, 온도, 기본 재료에 대한 정확한 제어를 통해 빠르고 안정적인 프로세스를 보장합니다. 또한, 독점적 인 다이아몬드 코팅 진공실은 장기 사용에 적합하며 반응 오염으로부터 추가 보호 기능을 제공합니다. VARIAN 3290은 또한 샘플 관리, 레시피 제어, 웨이퍼 처리, 소스 사용 등 디자인에 필수적인 광범위한 자동 프로세스를 갖추고 있습니다. 이러한 프로세스의 조합은 고객의 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 고급 프로세스 모델 (advanced process model) 과 함께 동급 최고의 박막 레이어 (Thin-Film Layer) 처리량 및 가속 디바이스 개발의 토대를 제공합니다. 전반적으로 3290 개는 강력하고 다양한 스퍼터링 (sputtering) 모델로, 고급 insitu 프로세스 제어 및 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 견고한 설계를 통해 안정적인 장비와 빠른 처리 시간 (처리 시간) 을 보장하여 생산량을 높일 수 있습니다.