판매용 중고 VARIAN 3290 #9121542

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ID: 9121542
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6" (TiW, AlCu, AlCu, hard etch), 150mm, p/n 983-4353, 480V, 22A, 3ph, 60Hz, CTI-Cryogenics On-Board 8 cryopump V200-A turbopump; V200 turbopump (2ea) MKS 250B controller Fluke 1722A instrument controller Fluke 8840A multimeter Wide range thin film monitor SW Version 2.2 Sputtering power supply Vacuum system controller 880RS vacuum ionization gauge RF matching controller Cassette motor control Temp monitor Dual CTI-Cryogenics On-Board controller Pfeiffer DCU controller MKS vacuum controller Multi-range DC sputtering power supply (2ea) interlock status display (2ea) deposition source control RFPP RF10S RF generator (3ea) CPI CPW-12/480 power supply Includes OneAC power transformer/conditioner.
VARIAN 3290 스퍼터링 (sputtering) 장비는 제조 및 연구 실험실에 정밀, 신뢰성 및 비용 절감을 제공하는 유연한 각도 반응성 스퍼터링 도구입니다. 이 "시스템 '은 유리," 세라믹', "플라스틱 ', 금속 등 모든 물질 의 기판 에 여러 가지 형태 와 크기 로 스퍼터' 증착 을 할 수 있다. 이 장치는 광학 품질 결과 (Optical Quality Result) 를 제공하여 생산 수익률 및 품질 보증을 제어할 수 있습니다. 3290은 모든 프로세스 요구 사항에 맞게 원형, 평면, 원추형, 다축을 포함한 전체 맞춤형 스퍼터링 플래튼 라인을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 금 (gold) 과 같은 독점 목표물도 포함되어 있으며, 특정 기판과 함께 사용하도록 전문화되어 있습니다. VARIAN 3290은 또한 강력한 프로세스 제어를 제공합니다. 사용자 정의 프로그래밍 가능한 컨트롤러는 스퍼터 깊이, 레이어 두께 및 균일성을 정확하게 제어합니다. 통합 데이터 수집 툴 (Integrated Data Collection Tool) 을 사용하면 프로세스를 모니터링하고 결과를 상세하게 보고할 수 있습니다. 자산은 안전 연동 모델, 전원 차단 스위치, 비상 정지 (Emergency Stop) 등 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 이러한 기능은 안전한 운영을 보장하며, 워크플로우의 위험 요소를 줄여줍니다. 이 장비는 또한 사용자 친화적이며, 실험실과 생산 환경 모두에 적합합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어는 복잡한 스퍼터링 프로세스 매개변수 (sputtering process parameter) 를 위한 맞춤형 레시피를 제공하며, 운영자가 프로세스 조건을 쉽게 설정하고 유지 관리할 수 있습니다. 이 시스템은 커스터마이징이 가능하며, 더 넓은 커버리지 영역 (Coverage Area), 높은 전력 밀도 (Power Density) 및 기타 여러 가지 개선 사항을 제공할 수 있도록 업그레이드할 수 있습니다. 또한 최신 스퍼터링 기술 (예: 독점 스퍼터링 제어 장치) 과 호환되므로 프로세스 제어가 정확합니다. 3290은 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 스퍼터링 머신입니다. 탁월한 프로세스 자동화 (process automation) 및 고급 안전 (safety) 기능을 제공하여 연구 및 생산 응용 프로그램 모두에 적합합니다. 광범위한 사용자 정의 기능과 최첨단 스퍼터링 기술로, 이 도구는 다양한 스퍼터 증착 매개변수를 정확하게 제어합니다.
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