판매용 중고 VARIAN 3290 #9094690

VARIAN 3290은 VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.에서 개발 한 소형, 완전 자동화 스퍼터링 장비입니다. 3290은 광범위한 재료를 가진 스퍼터 코팅 기질이 가능하며 금속, 산화물, 합금 및 기타 화합물을 퇴적시키는 데 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 스퍼터링 구성 (sputtering configuration) 을 제공하여 다양한 증착 성능 요구 사항을 충족할 수 있습니다. VARIAN 3290은 통합 로드록이있는 단일 챔버 장치입니다. 챔버 내부는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 최대 4 개의 스퍼터 소스를 위해 배관됩니다. 챔버에는 프로세스 가스 흐름을 제어하기위한 전자 일치 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구에는 사전 스퍼터링 기판 클리너 및 로봇 제어 회전 기판 회전 목마 (carousel) 와 같은 기능도 포함됩니다. 3290에는 다양한 고급 제어 및 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 압력, 스퍼터링 압력, 프로세스 시간, 전력, 전압, 전류, 기판과 스퍼터 소스 사이의 거리 등 프로세스 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 VES2 호환 컴퓨터 인터페이스를 사용하여 자산을 원격으로 제어할 수 있습니다. 가변 3290 (VARIAN 3290) 의 모니터링 기능을 사용하여 모든 프로세스 단계에서 품질 결과를 확인할 수 있습니다. 이 모델에는 내장 입자 카운터, LVDT (Linear Variable Differential Transformer), QCM (Quartz Crystal Microbalance) 및 광학 모니터링 포트가 포함됩니다. 특히 QCM은 Adsortion-Desortion Isotherms 및 quantitative surfaces 품질 평가를 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 3290은 다양한 스퍼터링 응용 프로그램을 제공합니다. 스퍼터 코팅 태양 전지, HFET, FET, MEMS, 나노 와이어, 나노 입자 및 박막 트랜지스터와 같은 높은 처리량 스퍼터링에 이상적입니다. 이 장비는 또한 절연, 전도성 및 반도체 재료의 스퍼터 증착을 허용합니다. VARIAN 3290은 효과적이고 다재다능한 스퍼터링 시스템입니다. 고급 제어 및 모니터링 기능을 통해 고품질 코팅 (coating) 결과를 얻을 수 있는 이상적인 장치입니다. 사용자가 금속, 산화물, 합금 또는 기타 화합물을 입금해야하는지 여부 - 3290은 완벽한 스퍼터링 솔루션을 제공합니다.