판매용 중고 VARIAN 3290 #151223

VARIAN 3290 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 얇은 필름을 기판에 배치하는 데 사용할 수있는 다재다능한 증착 도구입니다. 이 시스템은 메인 바디 (Main Body) 주택 진공 펌프, 컨트롤러 및 전원 공급 장치와 다수의 대상 재료 및 대상으로 구성됩니다. 3290은 강력한 RF 전원 공급 장치 및 DC 바이어스를 사용하여 진공실 내에 위치한 최대 4 개의 자석에 전원을 공급합니다. 자석은 스퍼터링 된 물질을 기판에 국한시키는 데 사용되며, 이는 균일 하고 반복 가능한 증착을 가능하게한다. 또한, VARIAN 3290에는 다른 재료 및 응용을위한 자기장을 세밀하게 조정하기위한 조정 손잡이가 포함되어 있습니다. 3290 은 양방향 피드백 제어를 위한 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 를 탑재한 통합형 스퍼터링 장치다. 이 모니터는 정밀한 두께를 유지하기 위해 적출된 필름의 두께를 대상에 공급하는 전원에 비해 (예: 적출된 필름의 두께) 측정합니다. 이 기계 는 또한 "로오드 '자물쇠 를 이용 하여 진공실 을 안전 하게 열어 새로운 기판 으로 재장전 할 수 있게 함 으로써, 공구 오염 을 감소 시킨다. VARIAN 3290은 다양한 기판에 광범위한 금속 및 세라믹 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 그것 은 "알루미늄 '," 티타늄', 금 및 은 을 포함 한 여러 가지 표적 재료 를 가지고 평평한 기판 과 휘어진 기판 으로 분출 할 수 있다. 자산은 또한 응용에 따라 다양한 "아르곤 '가스를 사용할 수 있습니다. 전반적으로, 3290 스퍼터링 모델은 다양한 응용 분야에 이상적인 박막 증착 도구입니다. 그것 은 부가적 인 성분 이 필요 없이 정확 한 "필름 '의 성장 을 허용 하는 반면, 다중" 마아켓' 설계 는 균일 하고 반복 할 수 있는 증착 을 허용 한다. 또한, 장비는 직관적이고 사용하기 쉽고, 간단한 컨트롤 및 조절 가능한 자기장을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 다른 기판, 아르곤 가스 및 대상 재료를 사용하는 능력은 다양한 박막 증착 목적에 적합합니다.