판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9255762

VARIAN 3290 STQ는 반도체 산업의 다양한 박막 응용 분야에 사용되는 고급 스퍼터링 (sputtering) 장비입니다. 고품질, 균일 한 박막 레이어를 높은 속도로 배치 할 수있는 높은 스퍼터링 (throughput co-sputtering) 도구입니다. 이 시스템은 정밀하게 제어되는 여러 개의 스퍼터링 프로세스와 함께 여러 개의 타겟 구성을 허용합니다. 다중 대상 단위 (multiple target unit) 는 필름 두께와 균일성이 다양한 기판에 걸쳐 일관되게 보장합니다. 증착 필름의 균일성은 공정 압력, 증착률, 표적 바이어스, 소스 및 기판 온도, 기판 거리의 표적 및 기타 매개변수와 같은 다양한 증착 매개변수를 제어함으로써 달성된다. VARIAN 3290STQ의 뛰어난 성능은 고효율 기판 난방 기능으로 인해 발생합니다. 이것은 모든 기판 형상에 걸친 필름 두께 및 구성에서 높은 수준의 균일성을 촉진합니다. 견고한 머신은 또한 PVD, 마그네트론, 전자 빔 스퍼터링과 같은 여러 프로세스 모드뿐만 아니라 조정 가능한 시선 및 대상-기판 거리를 제공합니다. 3290 STQ는 사용 편이성을 위해 설계되었으며 직관적인 사용자 인터페이스와 함께 제공됩니다. 설계 기능에는 자동 압력 및 온도 제어, 실시간 레시피 편집, 멀티 포인트 소스 검증, 라이브 압력 판독 등이 있습니다. 또한 '자가 진단 (self-diagnose)' 메뉴를 통해 운영자가 쉽게 자산 문제를 해결할 수 있습니다. 3290STQ에는 사용자의 안전을 보장하는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 고급 보안 액세스, 가스 차단 밸브, 더블 체크 밸브, 자동 도어 차단 (automatic door shut off) 등이 있습니다. 또한, 이 모델에는 프로세스 오염으로부터 보호하기 위한 강력한 물 장비도 포함되어 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3290 STQ는 고품질의 균일 한 박막 레이어를 높은 증착률로 배치 할 수있는 고성능 스퍼터링 시스템입니다. 정밀하게 제어되는 감지 (sensing) 및 안전 인프라 (safety infrastructure) 는 다양한 박막 어플리케이션에 적합합니다.