판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9180896

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ID: 9180896
빈티지: 1996
Sputtering systems 1996 vintage.
VARIAN 3290 STQ는 VARIAN Inc.에서 생산 한 스퍼터링 장비입니다. 다양한 응용을위한 균일 한 박막 (thin film) 을 만들 수있는 고성능 마그네트론 스퍼터 증착 시스템입니다. VARIAN 3290STQ에는 3 개의 입방 형, 고출력, 마그네트론 소스가 있으며, 기판 전체에 걸쳐 단단히 제어 된 균일 성과 전력을 제공하며, 이 장치에는 최대 3 개의 공정 챔버 또는 "모듈" 이 장착되어 다양한 동시 처리 작업을 처리 할 수 있습니다. 3290 STQ (Modular Design of 3290 STQ) 를 통해 Wafer 크기, 기판 두께, 대상 재료에 대한 특별한 요구 사항을 충족할 수 있는 여러 구성을 만들 수 있습니다. 닫힌 루프 프로세스 제어는 광범위한 조건에서 정확한 증착 수준, 균일성, 반복성을 제공합니다. 3290STQ에는 각 모듈을 독립적으로 제어하는 고해상도 커패시턴스-마노미터 압력 제어 장치가 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 컨트롤러가 장착되어 있어 사용자가 최대 12 가지의 스퍼터 프로세스 레시피 (sputter-process recipe) 를 만들고 저장할 수 있으며, 빠르고, 쉽고, 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. VARIAN 3290 STQ의 작동 높이는 40 ~ 270 mm이며 최대 60 kg의 프로세스 로드가 가능합니다. 자동화된 아크 관리 자산, 듀얼 인터록 모델 (dual interlock model), 독립 비상 차단 (emergency shoff), 보호 알루미늄 차단 (aluminum shield) 등 다양한 고급 안전 기능을 갖춘 강력한 도구입니다. 또한 모든 장비 프로세스를 완벽하게 제어하기위한 터치 스크린 E 패널이 있습니다. VARIAN 3290STQ는 다재다능하며 박막 증착, 합금 도금, 정밀 에칭, 마그네트론 스퍼터링, 반응성 이온 에칭 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. optoelectronics, 데이터 저장, microelectronics, 에너지 저장 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 탁월한 성능, 뛰어난 기능, 사용자 친화적 운영 기능을 갖춘 3290 STQ는 고성능 스퍼터링 시스템을 위한 대중적인 선택입니다.
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