판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9154639

VARIAN 3290 STQ 스퍼터링 장비는 고품질 필름의 증착을 위해 VARIAN이 개발 한 3 표적, 2 키트 동시 반응성 및 비 반응성 마그네트론 스퍼터링 시스템입니다. 첨단 과학 연구 (high-end scientific research) 에서 산업 생산 (industrial production) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계되었으며, 사용 편의성과 신뢰성을 위해 많은 실험실에서 선호됩니다. VARIAN 3290STQ 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 는 최적의 스퍼터 증착을 위해 목표 각도와 기판 처리 거리에 대한 매우 정확한 제어를 제공하도록 설계된 회전 가능한 전기 기계식 제어 터릿 스퍼터링 헤드를 갖추고 있습니다. 비 자성, 티타늄 기반 전기 전도성 목표가있는 24 개의 표적, 3 위치 포탑 스퍼터링 헤드가 특징입니다. 전기 제어 로터리 암으로 인해 목표 및 가공소재 위치가 정확도가 0.1mm (0.1mm) 입니다. 또한, 이 기계는 목표 기하학적, 물리적 특성을 달성하기 위해 금속, 반도체 재료, 합금의 반응성 및 비 반응성 스퍼터링을 수행하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 화합물 재료의 반응성 스퍼터링을위한 특허를받은 2 키트 마그네트론 (magnetron) 이 장착되어 화합물 및 합금 목표에 대한 최고의 정밀도 및 반복 성을 제공합니다. 3290 STQ 스퍼터링 (Sputtering) 자산은 안정적이고 효율적인 스퍼터 코팅 작업을 위해 설계되었으며, 최소 두통으로 최대 10 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 모델은 멀티 스테이션 설계를 사용하여 안전하고 안전한 상태에서 기판을 쉽게 변경할 수 있습니다. 정밀 다이 포지션 제어 및 필름 균일성을 위해 전동 가이드 레일 (Motorized Guide Rail), 자동 기판 운송 및 이동 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 특허 보류 (pending) 파일럿 키트가 장착되어 있는데, 이 파일럿 키트는 닫힌 루프 챔버 압력 피드백 (closed-loop chamber pressure feedback) 장치로서 최적화된 프로세스 매개변수를 안전하고 안전하게 보호합니다. 3290STQ 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 직관적이고 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작업을 쉽게 설정, 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. VARIAN 3290 STQ 스퍼터링 (sputtering) 도구는 고품질 필름 증착을위한 안정적이고 효율적인 플랫폼을 제공하도록 설계되었으며, 전 세계 많은 실험실에서 완벽한 선택입니다. 고급 엔지니어링, 정밀 제어, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.