판매용 중고 VARIAN 3290 STQ #9134776

VARIAN 3290 STQ 스퍼터링 장비는 기판에 재료를 입금하고 코팅하는 데 사용되는 정밀 증착 기기입니다. 이 제품은 고온과 저온의 스퍼터링 (sputtering) 을 모두 제공하도록 설계되었으며, 동일한 웨이퍼에 층별 구조가 다른 재료를 증착 할 수 있습니다. 특허를 받은 Versareg (tm) 의 전력 및 압력 매개변수에 대한 제어를 통해, 이 시스템은 최고의 정확성과 정밀도를 제공합니다. 장치 내부의 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 는 플랫 샘플 홀더에 여러 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 비활성 백필 가스 (inert backfill gas) 옵션도 있으며 스퍼터링을위한 고급 고출력 13.56MHz RF 발전기가 장착되어 있습니다. 또한 구성 요소가 장착되어 있어 빠른 샘플 로드 및 언로드가 가능합니다. VARIAN 3290STQ에는 고온 및 저온 스퍼터링 기능도 있습니다. 고속 스퍼터링 (sputtering) 모드는 최대 34 eV의 운동 에너지를 달성 할 수 있으며, 이를 통해 물질의 증착이 높은 속도로 발생할 수 있습니다. 또한 특성이 다른 재료의 레이어 대 레이어 증착을 가능하게합니다. 저온 스퍼터링 모드는 오염 물질 및 저질량 스퍼터링 생산을 줄일 수 있습니다. 이 모드에서는 일반적으로 높은 성능 속도 (예: 높은 목표 각도 및 자체 스퍼터링) 와 연관된 스퍼터링 매개변수를 사용할 수 있습니다. 3290 STQ 스퍼터링 머신은 정교한 압력 피드백 및 선박 제어 기술로 제작되었습니다. 이 기술은 스퍼터링 작업 중에 반복성과 안정적인 압력, 진공 제어를 보장합니다. 또한 PFC 장착 도구를 사용하면 가변 압력 작동을 활용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 펄스 연산 및 가변 압력 제어를 통해 이온-중성 비율 (Ion-to-Neutral Ratio) 을 극대화할 수 있습니다. 3290STQ는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 시스템을 추가로 제공합니다. 이러한 시스템을 통해 사용자는 프로세스 모니터링 기능을 통해 모든 스퍼터링 (sputtering) 작업을 조정하고 관리할 수 있습니다. 프로세스 모니터링 도구에는 온도 조절 시스템, 이온화 임플란트 (ionization implant) 검출기, 데이터 로깅 및 분석 시스템, 그리고 증착 프로세스를 모니터링할 수 있는 기타 제어 자산 도구가 포함됩니다. 또한, 최신 고급 모델 소프트웨어를 통해 골드 표준 (gold standard) 의 정확성을 달성 할 수 있습니다. 요약하자면, VARIAN 3290 STQ 스퍼터링 장비의 성능은 로드, 증착, 언로드 및 프로세스 제어/모니터링 작업의 최대 정확성과 정확성을 보장합니다. 이것은 VARIAN 3290STQ를 고급 스퍼터링 작업과 기판의 재료 증착 및 코팅에 이상적인 시스템으로 만듭니다.