판매용 중고 VARIAN 3280 #9024315

VARIAN 3280은 전자 장치 코팅 (electronic device coating) 이나 리소그래피 및 의료 이미징을위한 코팅 (coating) 과 같은 균일 한 박막 (thin film) 이 필요한 응용 분야를 위해 설계된 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 최대 304 x 304 밀리미터의 면적에 금속, 절연 및 반도체 박막을 배치 할 수 있습니다. 균일 한 스퍼터 증착 과정 (sputter deposition process) 은 전체 영역에서 매우 매끄러운 표면을 제공 할 수 있으며, 특히 전기 및 광학 특성이 필름 두께에 의존하는 장치에 적합합니다. 3280 은 높은 물리적 증기 증착 압력 (physical vapor deposition pressure) 을 사용하여 두께와 구성이 매우 균일 한 박막 층을 퇴적시킵니다. 동력 배치 단계를 통해 코팅 위치를 정확하게 제어 할 수있는 반면, 닫힌 루프 (closed-loop) 프로세스 모니터는 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 장치는 초고압 진공 (UHV) 또는 고압 스퍼터 챔버 구성에서 사용할 수 있습니다. VARIAN 3280 은 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 를 통해 특정 스퍼터 프로세스 매개변수를 프로그래밍하고 두께 및 균일성 제어에 대한 정확한 판독 값을 얻을 수 있습니다. 기계는 또한 기판 및 스퍼터링 프로세스를 실시간으로 관찰하기위한 베젤 프리 (bezel-free) 뷰 창을 포함합니다. 고성능 가스 핸들러 (gas-handler) 컨트롤은 다양한 가스를 처리하고 챔버 전체에서 프로세스 안정성을 제공합니다. 또한, 3280은 넓은 온도 범위에서 작동 할 수 있으며, 이는 어닐링 (annealing) 기간이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 이것은 또한 균일 한 필름 특성을 얻기 위해 향상된 입자 이동성을 허용합니다. 전반적으로 VARIAN 3280은 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 툴로, 광범위한 기판에 대한 탁월한 증착 균일성, 정밀성, 반복성을 제공합니다. 다양한 기능을 통해 최고 품질의 박막 (Thin Film) 과 코팅 (Coating) 이 필요한 어플리케이션에 이상적입니다.