판매용 중고 VARIAN 3280 #148076

VARIAN 3280은 고 처리량 재료 증착 및 장치 제조를 위해 설계된 콘텐츠 균일 스퍼터링 장비입니다. 단일 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 가있는 단일 건 (single-gun) 단위로, 금속, 유전체 및 산화물, 질화물 및 다이아몬드 같은 화합물과 같은 다른 물질의 균일 한 층을 퇴적시킬 수 있습니다. 최대 스퍼터 속도 (180 Å/minute) 를 제공하며 다른 스퍼터링 시스템보다 최대 5 배 높은 높은 증착율을 생성 할 수 있습니다. 3280에는 정밀한 정렬 및 일관된 필름 균일성을 제공하는 고급 Robostage 기울기 회전 조작기가 장착되어 있습니다. 이 로봇 (robotic) 단계를 통해 사용자는 패턴화된 장치의 균일성을 보장하면서 넓은 영역에 대해 균일 한 커버리지를 얻을 수 있습니다. 기울기 회전 시스템은 피치 (pitch) 에서 ± 25 °, 롤 (roll) 에서 ± 35 °, 요 (yaw) 에서 180 ° 의 최대 각도 범위를 제공 할 수 있으므로 효율적인 기판 회전을 위해 Y축을 따라 매우 역동적입니다. VARIAN 3280 장치에는 N2 퍼징 머신, 터보 펌프 및 cryopanel 냉각 도구로 구성된 고속 동적 진공 펌프가 있습니다. 이를 통해 긴 주기와 빠른 펌프 다운이 가능하며, 뛰어난 처리량을 제공합니다. 또한, 챔버 압력 및 가스 흐름의 제어 및 정확성을 향상시키는 PLC 에셋과 온도 균일 설정 (temperature uniformity settings) 을 통한 정확한 온도 제어를 위한 PID 피드백 루프를 제공합니다. 이 모델은 10-1 ~ 10 mTorr 범위의 작동 압력과 15-20 Å/minute의 전형적인 스퍼터 속도를 스퍼터링 할 수 있습니다. 3280 은 "알루미늄 '과" 티타늄' 과 같은 표준 표적 물질 을 포함 하여 물질 층 을 증착 시키는 데 사용 할 수 있는 여러 가지 근원 을 제공 하며, 질화물 과 산화물 (예: 질화 "티타늄 '및 이산화알루미늄') 에 더 특이 한 물질 을 제공 한다. 이를 통해 사용자는 여러 마스킹이나 그림자 마스크 없이 전체 기판에 걸쳐 구성, 형태, 두께가 균일한 레이어를 배치할 수 있습니다. 즉, 여러 개의 마스킹이나 그림자 마스크 (shadow mask) 를 사용할 필요가 없습니다. 마지막으로, VARIAN 3280 (VARIAN 3280) 은 생산성 향상을 위해 업그레이드 된 모듈을 특징으로하며, 이는 기판에서 스퍼터링 된 재료의 수준과 물질의 양을 감지하여 반복 가능한 스퍼터링을 가능하게합니다. 또한, 이 장비는 소프트웨어 기반 원격 모니터링 시스템 (Remote Monitoring System) 과 고급 매개변수 (Advanced Parameter) 설정을 통해 증착 프로세스를 최적화하고 운영 효율성을 향상시킬 수 있습니다.