판매용 중고 VARIAN 3190 #9198796

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ID: 9198796
Sputtering system Model number: 983-3142.
VARIAN 3190은 박막 및/또는 다양한 과학 연구 응용 분야에 사용하기 위해 사용되는 최첨단 UHV (Ultra-High Vacuum) 예비 스퍼터링 장비입니다. 이 첨단 기기는 전도성, 보호 또는 절연 박막 또는 목표물을 반도체, 금속, 절연 또는 광학 투명 기판에 강착시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 3190은 2 개의 독립적 인 유연한 스퍼터 소스, 최대 4 개의 진공 중 샘플 스테이지 및 종합 소프트웨어 패키지를 사용하여 정확하고 안정적으로 박막 및/또는 대상을 만드는 고급 스퍼터링 시스템입니다. 두 개의 독립적 인 스퍼터 소스를 사용하면 여러 샘플을 동시에 여러 개 처리하여 대규모 배치 처리 (batch processing) 를 용이하게합니다. 4 개의 다중 구역 샘플 인 진공 단계에는 각각 터보 워터 펌프, 130 l/s 터보 분자 펌프, 기계식 포어 펌프 및 챔버 컨디셔닝 및 공정 제어를 위한 여러 가스 소스가 장착되어 있습니다. 또한, VARIAN 3190에는 정밀한 프로세스 제어 및 데이터 취합을 지원하는 포괄적인 소프트웨어 옵션이 포함되어 있습니다. 매우 유연한 명령 세트를 특징으로하는이 장치의 소프트웨어는 증발 온도, 가스 압력, 스퍼터 파워, 스퍼터 레이트 (sputter rate) 등과 같은 여러 이국적인 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 스퍼터 소스 (sputter source) 의 정확한 공간 제어와 번갈아 가며 스퍼터 건 (sputter gun) 을 사용하는 프로세스를 통해 복잡한 그림자 및 도핑 프로세스를 가능하게합니다. 또한 3190은 연동 회로, 경보, 압력, 온도 센서 등 다양한 안전 측정 (safety measures) 을 제공하여 기계의 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다. 마지막으로, 높은 UHV 환경은 프로세스의 정확성을 보장하며, 박막 (thin film) 또는 목표물의 증착에 최적의 설정을 제공합니다. 요약하자면, VARIAN 3190은 얇은 필름 및/또는 목표를 효율적이고 안정적으로 배치하도록 설계된 최첨단 스퍼터 툴입니다. 2 개의 독립적 인 스퍼터 소스, 4 개의 멀티 존 진공 단계 및 포괄적 인 소프트웨어 패키지는 연구 응용을위한 강력한 도구입니다. 또한, 안전 측정, 높은 UHV 환경 및 스퍼터 소스의 정확한 공간 제어를 통해 자산을 정확하고 효율적으로 복잡한 스퍼터링 프로세스를 수행 할 수 있습니다.
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