판매용 중고 VARIAN 3190 #9184623

VARIAN 3190 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 일관된 고품질 및 등급의 표면 코팅과 얇은 필름을 생산하도록 설계된 높은 처리량 PVD 시스템입니다. 이 장치는 정밀 표면 처리가 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적입니다. 3190은 2 챔버 이중 소스 진공기를 사용합니다. 공정 챔버는 일반적으로 10-6 mbar의 기본 압력에서 유지됩니다. 공구의 증착면은 로드 락 (load-lock) 과 스퍼터 소스 챔버 (sputter source chamber) 로 구성되며 셔터 제어 저항 이온 빔 소스 (RIB) 가 장착되어 있습니다. RIB에는 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링 소스가 포함되어 있으며 모듈 로드 및 언로드가 허용됩니다. 또한 VARIAN 3190에는 증착 물질의 반응성 이온 에칭 (RIE) 을위한 고주파, 저에너지 이온 소스가 장착되어 있습니다. 3190의 기판 온도는 실온에서 최대 500õC까지 조절 할 수 있습니다. 또한 처리 된 표면의 가스 동적 에칭을위한 진공 제어 가스 분사 자산 (vacuum-controlled gas injection asset) 이 특징이며, 모델의 기능 기능을 더욱 향상시킵니다. VARIAN 3190은 매우 균일 한 박막 (thin-film) 을 생성 할 수 있습니다. 그러나 모듈 식 디자인은 빠른 재료 변경을 허용합니다. 이를 통해 작은 설치 공간 내에서 정확한 반복 가능성과 최적화된 처리량을 얻을 수 있습니다. 또한, 3190에는 종점 감지를 위해 현장 질량 분석기 (in-situ mass spectrometer) 가 장착되어 침전된 층이 지속적으로 고품질의 스퍼터링 프로세스를 통해 일관되게 유지됩니다. 결론적으로, VARIAN 3190은 초고품질 표면과 소재 층을 생산할 수있는 고급 PVD 장비입니다. 가스 주입 시스템, RIE 소스 및 현장 내 엔드 포인트 탐지는 모두 더 높은 공정 안정성 및 반복성에 기여합니다.