판매용 중고 VARIAN 3190 #9097088

바리안 3190 (VARIAN 3190) 은 박막 증착에 사용하도록 설계된 고성능, 저렴한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 2 개의 독립적 인 스퍼터 건 (sputter gun) 을 사용하며 다양한 기판 재료와 호환됩니다. 3190 년은 0.5 nm ~ 8.0 micron의 두께 범위의 박막을 제작할 수 있으며, 뛰어난 영화 균일성과 뛰어난 재현성을 제공합니다. VARIAN 3190은 강력한 기계식 디자인과 탁월한 프로세스 성능을 제공하는 고급 컨트롤을 갖추고 있습니다. 기판 은 회전 하는 "플랫폼 '에 장착 되어, 기판 의 표면 을 가로질러 균일 한 증착 을 할 수 있다. 총 전원 공급 장치 (gun power supply) 는 조절 가능하며 낮은 입사 에너지 밀도와 낮은 듀티 사이클 (duty cycle) 을 달성 할 수 있습니다. 또한 3190에는 선택적 이온/플라즈마 소스가 장착되어 원하는 필름 속성을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 내부 모니터링 및 진단 도구 (예: 두께 측정, 실시간 웨이퍼 매핑) 를 제공합니다. VARIAN 3190은 사용자에게 유연성과 높은 정확성을 제공하는 프로세스 중심 기계입니다. 인체 공학적으로 설계된 인터페이스는 도구 작동을 단순화하고 가속화합니다. 자산은 또한 사용자 정의가 용이하므로, 특정 프로세스에 대한 표준 운영 절차를 정의할 수 있습니다. 또한 모든 매개변수가 저장되며, 나중에 신속하게 리콜하여 사용할 수 있습니다. 전체적으로, 3190은 다양한 기판에서 고정밀 박막 (thin film) 을 증착하기에 이상적인 플랫폼입니다. 이 장치는 신뢰성이 높고 효율적이며 비용 효율적입니다. 첨단 디자인과 다양한 기능을 갖춘 VARIAN 3190 (VARIAN 3190) 은 다양한 박막 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.