판매용 중고 VARIAN 3190 #42672

VARIAN 3190 스퍼터링 장비는 연구 및 산업 응용을 위해 설계된 고급 고성능 PVD (Physical Vapor Deposition) 시스템입니다. 최대 공정 온도 1400 ° C, 10 ^ -2 ~ 10 ^ -7 Torr의 다양한 공정 압력으로, 이 다용도가 높고 신뢰할 수있는 장치는 다양한 코팅 프로세스와 박막 증착 응용 프로그램을 최적으로 실행할 수 있습니다. 기계는 2 개의 상호 연결된 챔버, 스퍼터링 대상 어셈블리를 수용하는 상단 챔버, 기판을 포함하는 하부 진공실로 구성됩니다. 스퍼터링 대상 어셈블리는 RF 또는 DC 스퍼터링 소스로 구성된 최대 3 개의 독립 대상 소스를 수용 할 수 있습니다. 그 에 더하여, 목표 를 원하는 코팅 재료 로 사용자 정의 하여 금속, 합금, 산화물, 유전체 를 증착 시킬 수 있다. 3190은 고급 Substrate Bias Control 기술을 사용하여 기판 잠재력과 정확한 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기술은 또한 각 목표에 대한 스퍼터링 증착 파라미터 (sputtering deposition parameters) 를 독립적으로 제어하여 완제품의 균일성을 더욱 높일 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 고급 멀티 존 (multi-zone) 난방 및 냉각 플랫폼이 포함되어 있으며, 최대 5 개의 연소 구역에 대한 정확한 온도 제어를 가능하게하여 증착 결과의 뛰어난 품질과 반복 성을 보장합니다. VARIAN 웹 기반 Optima 소프트웨어 플랫폼과 결합 된 VARIAN 3190은 스퍼터 증착 (sputter deposition) 프로세스를 완벽하게 제어하여 최종 결과를 크게 최적화 할 수 있습니다. 또한 이 직관적인 인터페이스를 통해 프로세스 매개변수를 완벽하게 모니터링할 수 있으므로 프로세스 진단 (process diagnosis) 과 문제 해결 (troubleshooting) 을 정확하게 수행할 수 있습니다. 또한, 자산은 고급 프로세스 진단 도구 (Advanced Process Diagnostics Tool) 를 갖추고 있어 문제를 쉽게 파악하고 실시간으로 해결 조치를 취할 수 있습니다. 간단히 말해, 3190 은 박막 증착 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 최첨단 기능을 갖춘 강력하고 직관적인 PVD 모델입니다. 이 장비는 비교할 수없는 공정 제어 (process control) 와 정확한 기판 균일성을 제공하여 광범위한 산업 및 연구 응용 분야에 이상적인 플랫폼입니다.