판매용 중고 VARIAN 3180 #9106890

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VARIAN 3180
판매
ID: 9106890
Sputtering system Currently installed in cleanroom.
VARIAN 3180 (VARIAN 3180) 은 다양한 코팅을 기판에 스퍼터링하는 데 사용되는 최첨단 필름 증착 장비입니다. 이 시스템에는 2 개의 음극, 2 개의 기판 위치 및 2 개의 로드 및 언로드 위치가 각각 독립적으로 제어됩니다. 닫힌 루프, 컴퓨터 제어 스퍼터링 장치는 반복 가능하고 일관된 결과를 제공합니다. 3180은 높은 수율 및 균일 한 증착을 위해 평면 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용합니다. 이 첨단 기술은 금속 및 유전체의 넓은 영역 증착을 지원합니다. 진공 압력은 2x10-4에서 10-7 torr 사이에서 유지 될 수 있으며 공정 온도는 실온에서 350 ° C입니다. 이 기계에는 광학 보기 창과 PC 기반의 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 (손쉬운 작동) 가 있습니다. 자동 자석 전력 조정 및 중복 챔버 압력 제어를 사용하여 정확하고 균일 한 증착률을 제공합니다. 궤도 기판 이동은 원형 기질의 코팅도 보장합니다. VARIAN 3180에는 필름을 1Å만큼 얇게 입금하기위한 초저 스퍼터링 모드가 포함되어 있습니다. 3180은 박막 증착, 광학 코팅, 고급 마모 저항층, 유전체 및 전도층, 장벽 층 등 다양한 응용 분야에 대해 구현 될 수 있습니다. 석영, 금속, 유리, 플라스틱 등 다양한 기판에 사용하기에 적합합니다. 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 는 다른 물질뿐만 아니라 금속 산화물, 규산염 및 플루오 라이드의 매끄럽고 균일 한 코팅을 생성 할 수 있습니다. VARIAN 3180은 업계의 안전 및 품질 요구 사항을 충족하도록 완전히 설계, 설계, 조립되었습니다. 지식이 풍부한 고객 서비스 팀의 광범위한 네트워크가 지원됩니다. VARIAN 고급 소프트웨어 솔루션을 사용하면 자산 성능을 모니터링하여 생산성을 극대화할 수 있습니다. EMC 가 제공하는 모든 시스템에는 제품 수명에 대한 보증 및 지원이 12 개월간 제공됩니다 (영문).
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