판매용 중고 VARIAN 3180 #9106889

VARIAN 3180은 다양한 금속 및 기타 재료로 다양한 기판을 코팅 할 수있는 펄스 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 (Pulsed Magnetron Sputtering Coating Equipment) 입니다. 연속적인 DC 또는 펄스 DC를 사용하여 레이어를 매우 높은 속도, 경우에 따라 최대 10,000 nm/min으로 예금합니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 구성을 통해 기존 제조 라인과 사용자 정의 단위 구성으로 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 기계에는 특수 코팅을 위해 설계된 증발기 챔버를 포함하여 3 개의 표준 스퍼터링 소스 (DC 또는 펄스) 가 장착되어 있습니다. 또한 2 개의 이온 소스, 아르곤 플라즈마 생성기 및 2 개의 추가 증착원이 있습니다. 또한, 이 도구는 진공 증착과 이온 빔 스퍼터링 (ion-beam sputtering) 을 결합하여 비교할 수없는 증착 기능의 정확성과 제어를 가능하게합니다. 다재다능한 3180은 금속, 유리, 도자기, 반도체, 유기물 등 다양한 기판에 층을 증착 할 수 있습니다. 고성능 스퍼터링 (Sputtering) 및 코팅 기술을 원하는 조직에 적합한 비용 효율적인 자산입니다. 높은 처리량, 필름 품질, 최대 생산량 (production level speed) 까지 확장할 수 있는 기능의 결합으로 인해 VARIAN 3180은 업계 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 이 모델은 Power, Pulse Rate, Pulse Frequency, Pulse Shape, Pulse Ratio, Sputtering duration, Substrate bias 및 Cathode potential 등의 스퍼터링 프로세스에 대한 다양한 고급 기능과 정교한 제어 알고리즘을 제공합니다. 3180 은 또한 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 운영 매개변수 (operational parameter) 에 대한 신속한 검증 및 응답을 허용하는 고급 모니터링 장비 (advanced monitoring equipment) 를 갖추고 있습니다. 또한, VARIAN 3180 에는 프로세스 (process) 와 장치 (unwanted event) 를 모두 보호하는 완전한 연동 기능이 포함 된 안전 시스템이 장착되어 있습니다. 예를 들어, 전원 결함 (power glitches) 을 사용할 때 안전 연결 (safety interlock) 은 즉시 전원 공급 장치를 차단하고, 프로세스 가스 공급 장치를 차단하고, 압력 챔버를 대기 압력으로 올립니다. 이러 한 특징 들 은 "마그네트론 '의 무작위 작동 으로부터" 오퍼레이터' 와 기계 의 안전 을 보호 해 준다. 전체적으로, 3180 은 높은 처리량, 안정적인 성능, 비용 대비 효율성의 조합으로 인해 산업 연구 및 파일럿 생산 라인에서 하이엔드 애플리케이션을 위한 이상적인 도구입니다. 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 자산을 원하는 기업에 적합한 솔루션입니다 (영문).