판매용 중고 VARIAN 3180 #9019175

VARIAN 3180은 다양한 추가 기능과 기능을 갖춘 강력한 스퍼터 코팅 장비입니다. 다재다능한 공구로, 다양한 기판에 박막 (thin film) 을 만들기 위해 다양한 재료를 배치할 수 있습니다. 3180은 스퍼터링 프로세스에서 최고 수준의 균일 성과 재생성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 "시스템 '에는 증착율 을 증가 시키는 데 도움 이 되는 전자" 빔' 총 이 장착 되어 있어 처리 시간 이 더 빨라진다. 전자 빔 건은 또한 생성 된 층의 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 장치는 적응이 가능하도록 설계되었으며, 다양한 프로세스 매개변수를 수용할 수 있습니다. 따라서 사용자는 더 복잡한 박막 구조의 매개변수를 빠르고 쉽게 변경할 수 있습니다. VARIAN 3180은 금속과 산화물을 스퍼터팅 할 수 있으며, 이를 통해 다중 층 필름을 만들 수 있습니다. 이 기계는 크기가 4 "- 6" 인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 최대 4 "두께의 하이브리드 및 강화 된 유리 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한이 도구는 최대 0.15 - 0.25 µm/min의 증착률을 달성 할 수 있습니다. 3180은 쉽게 조정할 수 있으며, 이를 통해 스퍼터 가스 압력, 온도, 전류 등의 매개변수를 수정할 수 있습니다. 또한 물리적 증기 증착, 높은 처리 압력, 멀티 타겟, 방향성 스퍼터링 등 다양한 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 다양한 박막 (Thin Film) 요구 사항에 따라 자산을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 모델에는 자동화된 엔드 포인트 감지 (End Point Detection) 및 레시피 제어 (Recipe Control) 와 같은 여러 자동화 기능도 있습니다. 이를 통해 사용자는 복잡한 증착 프로세스를 빠르고 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 인사이트 클리닝 (in situ cleaning) 및 기타 진단 기능이 장착되어 있어 프로세스 품질을 향상시키고 수리에 비용이 많이 드는 다운타임을 방지할 수 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3180은 유연성, 속도, 정확성 덕분에 스퍼터 코팅 응용 프로그램에 적합합니다. 광범위한 프로세스에 유용하며, 자동화 기능을 통해 고품질의 박막 (Thin Film) 을 빠르고 쉽게 생산할 수 있습니다.