판매용 중고 VARIAN 3180 #69386

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

VARIAN 3180
판매
ID: 69386
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering systems, 4" Throughput: 60 wafer/hr for 1 micron aluminum alloy deposition, independent of water size Film thickness uniformity, 100mm: +/-5% across wafer for aluminum alloys excluding out 0.0625" of water Film thickness uniformity, 125mm: +/-6.5% across wafer for aluminum alloys excluding out 0.0625" of water Vacuum system: Deposition chamber: Varian Cryostock-12FA closed-loops helium pump, 12" Load lock: 14cfm Deposition source: Type: close-coupled dc conical Magnetron Orientation: vertically mounted for sideways sputtering Deposition rate: ~12,000A/min Cathode: 7" dia., annular Cathode life: 2000 one-micron Deposition DC power supply: 12kW Operating Crated.
VARIAN 3180 은 고성능 스퍼터링 장비로, 다양한 어플리케이션에 최적의 코팅 성능을 제공합니다. 이 시스템은 DC 마그네트론 스퍼터 장치 (magnetron sputter unit) 로 구성되어 있으며, 최고 180nm/min의 높은 증착율을 달성 할 수 있습니다. 스퍼터 코팅은 고출력 직류 (DC) 자석, 증착실 및 진공기를 포함하는 프로세스입니다. 마그네트론 스퍼터 도구 (magnetron sputter tool) 는 두께, 표면 품질 등 예금의 특성을 궁극적으로 제어합니다. 3180 은 자산의 모든 프로세스를 제어할 수 있는 PLCDAQ 소프트웨어에 의해 제어됩니다. 또한 사용자는 스퍼터 코팅 프로세스의 소스 재료, 챔버 형상 (chamber geometry), 프로세스 사이클 (process cycle) 및 기타 모든 매개변수를 선택할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 빠른 시작 시간 (startup time) 과 사용자 편의성을 높이기 위해 모델에 사용된 모든 레시피를 저장할 수 있습니다. VARIAN 3180은 효과적인 스퍼터 코팅에 중요한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 예를 들어, 장비 챔버에는 수명이 긴 라이너 (liner) 가 장착되어 있어 오염, 마모, 신체적 손상에 대한 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 또한, 챔버 (chamber) 는 우수한 가스 밀도를 제공하며 대기 공정과 고진공 공정을 모두 수용 할 수 있습니다. "챔버 '는 특이 한 수준 의 균일성 을 제공 하여, 그림자 효과 가 없는 기판 의 균일 한" 코우팅' 을 가능 하게 한다. RF 구동 이온 빔 소스는 균일 한 기판 가열과 열 증발보다 높은 속도를 제공합니다. 고전압 구동 RF 구동 이온 소스는 증착 속도를 증가시킬 수 있습니다. 또한 "스퍼터 '원 을 조정 하여 표적 물질 의" 이온' 폭격 을 개선 시켜 "스퍼터 '" 코우팅' 의 성능 과 질 을 높일 수 있다. 3180은 다양한 이점을 제공하여 탁월한 스퍼터링 시스템을 제공합니다. 탁월한 적용 범위, 안정적이고 안정적인 작동, 뛰어난 속도와 균일성을 갖춘 뛰어난 코팅 성능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 사용자 정의가 가능하며 다양한 챔버 형상 (chamber geometries) 과 소스 재료 (source material) 를 수용 할 수 있습니다. 따라서, VARIAN 3180은 다양한 산업 및 과학 응용 분야에 이상적이며, 뛰어난 코팅 성능에 필요한 안정성, 속도 및 정확성을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다