판매용 중고 VARIAN 3180 #156923

VARIAN 3180은 다양한 고유 한 재료 가공 및 증착 응용을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 소스, 2 개의 전원 공급 장치, 2 개의 프로세스 챔버, 2 개의 회전 대상 및 다양한 옵션 구성 요소로 구성됩니다. 원천은 아크 스퍼터 이온 소스 (arc sputter ion source) 로, 매우 민감하고 편견이 필요한 재료, 다른 압력 범위 및 더 큰 전력 수준을 포함하여 전도 및 비 전도 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 펄스 작동, dc 또는 ac 작동, 펄스 및 저항성 기질 바이어싱을 처리 할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 일반 및 고전압 모델로 제공되며, 각각 최대 4 kV 및 25 MA를 제공 할 수 있습니다. 2 개의 공정 챔버 (process chamber) 는 소스에 연결되어 있으며, 각각 압력 조절을위한 개별 가스 라인 (gas line) 과 진공, 안전 및 가스 제어를 위한 별도의 공정 연결 (process connection) 이 있습니다. 그 들 은 "크로뮴 ', 탄소," 텅스텐' 및 그 밖 의 재료 들 을 "인터레이어 '계통, 다층 및 사실상 모든 원소 의 조합 으로 처리 하고 증착 시킬 수 있다. 각 챔버에는 단일 기판 (single substrate) 또는 다중 기판 (multiple substrate) 을 동시에 작동시킬 수 있는 기능이 있으며 배치 (batch) 또는 인라인 (inline) 모드에서 사용할 수 있습니다. 대상은 두 공정 챔버 (process chamber) 각각에 설치되며, 퇴적된 재료의 균일성을 높이기 위해 자체 축으로 회전합니다. 이 기계는 스퍼터링 속도가 매우 빠르며, 매우 얇은 층의 재료를 배치 할 수도 있습니다. 3180 Tool에는 crystal 모니터, 다중 샘플 홀더, 진공 관련 측정 및 제어 시스템 모음과 같은 다양한 추가 옵션도 있습니다. 자산의 전체 스퍼터링 속도 (sputtering rate) 는 매우 많으며, 다양한 종류의 재료의 매우 얇은 층이 달성됩니다. 전체 모델은 매우 사용하기 쉽고, 사용자 친화적 인 인터페이스와 증착 프로세스 (deposition process) 간의 변경 (changeover) 에 대한 유연성도 있습니다. 전반적으로 VARIAN 3180 스퍼터링 (sputtering) 장비는 광범위한 재료를 증착하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공합니다. 다양한 고급 기능 (advanced features) 을 통해 신뢰성이 매우 높아 시스템을 다양한 미션 크리티컬 어플리케이션에 사용할 수 있습니다.