판매용 중고 VARIAN 3140 #9113802

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ID: 9113802
E-Beam evaporator Process: Used for dielectrics (Silica and transition Metal Oxides) 4-Pocket with thermal source O2 Tank with leak valve Bell jar chamber: Outer diameter, 20” Diffusion and mechanical pumps included Chiller not included Currently in storage.
VARIAN 3140은 다양한 박막 증착 및 제조 공정을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 복잡한 고정밀 부품을 처리하기 위해 특별히 만들어졌습니다. 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 효율적인 증착을위한 평면 및 회전 마그네트론 소스를 모두 갖추고 있으며, 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 이 장치에는 펄스 DC 스퍼터링을위한 원격 챔버, 반응성 증착을위한 열 플라즈마 생성기, 효과적인 필름 두께 균일성을위한 독립적 인 이온 컨트롤, 온도 민감성 증착을위한 온도 조절 기판 척 (chuck) 등 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 3140 에는 프로세스 매개변수를 손쉽게 모니터링, 제어, 최적화할 수 있는 사용자 친화적인 통합 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 제어 인터페이스에서 사용자는 실시간으로 진공 압력, 대상 전력 (Target Power) 및 모니터링 데이터를 액세스하고 스퍼터링 속도, 이온 농도, 원자로 온도 등 다양한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 프로세스 최적화를 위해 수동 및 자동 기능을 모두 제공합니다. 자동화된 기능을 통해, 사용자는 필름 두께 균일성, 재현성, 증착률을 최적화하여 고품질 부품의 비용 효율적인 생산을 가능하게 합니다. 고급 소프트웨어 (advanced software) 와 함께, 이 도구는 운영 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 전원 및 모션 모니터, 챔버 과압 보호 (chamber over-pressure protection), 히터 케이블 및 분리 (break disconnect) 등 다양한 fail-safes는 항상 안전한 작동 상태를 유지하도록 합니다. 일관되고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 VARIAN 3140에는 고정밀 공구 및 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 공구는 기판의 정확한 위치를 지정하여 최적의 증착 프로세스를 보장하도록 설계되었습니다. 요약하면, 3140은 고정밀 부품 처리를 위해 특별히 설계된 고급 스퍼터링 자산입니다. 다양한 고급 기능 (advanced features) 이 장착되어 있어 고품질 부품의 관리 최적화 및 비용 효율적인 생산이 가능합니다. 안전 기능과 정밀 도구는 신뢰할 수있는 작업과 반복 가능한 결과를 모두 보장합니다.
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