판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269742

ULVAC SMD-450 스퍼터링 장비는 웨이퍼 및 기판에 증착 된 박막을위한 최첨단 도구입니다. 이 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 최신 에너지 및 균일 한 스퍼터링 기술을 통합하여 연구 및 산업 응용에 이상적인 선택입니다. SMD-450 에는 2 개의 음극이 장착되어 있어, 샘플에 2 개의 개별 레이어를 동시에 증착할 수 있습니다. 최대 이온 폭격, 균일성 향상, 이온 채널 감소를위한 2 단계 선형 소스 구조가 특징입니다. 이 고급 장치 (advanced unit) 는 금속, 산화물, 질화물, 반도체 등과 같은 모든 대상 물질로 구성 할 수도 있습니다. 전통적인 마그네트론 및 비활성 가스 스퍼터링에서, 기질 온도는 제어되지 않습니다. 이로 인해 샘플의 다른 부분에 서로 다른 필름 두께가 발생합니다. ULVAC SMD-450은 고급 온도 조절 기판 홀더를 갖추고 있으며, 사용자가 최대 400 ° C의 기판 온도를 제어 할 수 있습니다. 이것은 열 드리프트로 인한 비 균일 성을 제거합니다. 또한 SMD-450 은 소형의 설치 공간을 갖추고 있으며 공간 활용을 효율적으로 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 최대 10 개의 타겟을 위해 총 4 개의 챔버가 있으며, 대용량 대상 포트는 신속한 로드 작업을 지원합니다. 유지 보수 시간과 비용을 줄이기 위해 물과 먼지를 포착하는 2 단계 폐쇄 루프 냉각기 (closed-loop cooling machine) 를 갖추고 있습니다. 이 스퍼터링 도구는 다양한 고정밀 플라즈마 제어 시스템 (Plasma Control System) 을 지원하여 균일하고 스퍼터링 프로파일을 제공합니다. 또한 듀티 비율 (duty ratio), 압력 (pressure) 및 가스 흐름 (gas flow) 과 같은 매개변수에 대해 높은 수준의 프로세스 제어를 제공합니다. 이 도구는 불규칙한 모양의 아이템 (item) 과 단면 (section), 소규모 장치 (device) 와 구조 (structure) 등 다양한 샘플과 기판을 처리 할 수 있습니다. 고급 ULVAC SMD-450 스퍼터링 자산은 탁월한 제어, 안정성, 균일성 및 생산성을 제공합니다. 그것 은 여러 종류 의 기판 과 표본 에 "박막 '층 을 생산 하는 데 이상적 인 선택 이다.